[发明专利]靶材组件的加工方法在审
| 申请号： | 201610850305.0 | 申请日： | 2016-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN107866721A | 公开（公告）日： | 2018-04-03 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;李小萍 | 申请（专利权）人： | 合肥江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B21/14 | 分类号： | B24B21/14 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 高静,吴敏 |
| 地址： | 230012 安徽省合肥市新站区东方大道*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种靶材组件的加工方法，包括提供具有待加工面的靶坯；采用砂带对待加工面进行自动抛光处理以形成溅射面。本发明采用砂带对待加工面进行自动抛光处理以形成溅射面，一方面，相比砂纸，砂带的尺寸更大，因此砂带与待加工面的接触面积更大，为了完成对整个待加工面的抛光处理，砂带沿平行于待加工面方向上的移动次数相应减少，从而减少溅射面的表面纹路和棱边，降低溅射面粗糙度；另一方面，相比人工抛光处理的方案，自动抛光的方法可以提高抛光处理中力度的均一性，从而提高溅射面的粗糙度均匀性以及表面纹路均匀性，进而可以改善靶材组件初期溅射时的累积放电问题。 | ||
| 搜索关键词： | 组件 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种靶材组件的加工方法，其特征在于，包括：提供靶坯，所述靶坯具有待加工面；采用砂带对所述待加工面进行自动抛光处理，以形成溅射面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥江丰电子材料有限公司，未经合肥江丰电子材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610850305.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：磨削机
- 下一篇：半导体装置的制造方法和半导体制造装置
