[发明专利]一种金属化薄膜加工用预热机构有效
| 申请号： | 201610840612.0 | 申请日： | 2016-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN106244998B | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 沈艺辉 | 申请（专利权）人： | 铜陵市铜创电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/02 |
| 代理公司： | 合肥东信智谷知识产权代理事务所(普通合伙) 34143 | 代理人： | 王学勇 |
| 地址： | 244000 安徽省铜陵市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开一种金属化薄膜加工用预热机构，包括连杆传动机构、加热器、第一伸缩装置；所述连杆传动机构包括固定杆、传动杆；所述固定杆中位置较高的一端通过第二升降机构设置在所述真空室的内顶壁上，所述固定杆中位置较低的一端与所述传动杆中位置较高的一端铰接，所述传动杆中位置较低的一端安装有所述加热器；所述第一伸缩装置的固定端铰接在所述第二升降机构与所述固定杆的连接区域上，所述第一伸缩装置的另一端与所述传动杆铰接。本发明具有的预热均匀、预热量可调的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属化 薄膜 工用 预热 机构 | ||
【主权项】：
1.一种金属化薄膜加工用预热机构，其特征在于：包括连杆传动机构、加热器、第一伸缩装置；所述连杆传动机构包括固定杆、传动杆；所述固定杆中位置较高的一端通过第二升降机构设置在真空室的内顶壁上，所述固定杆中位置较低的一端与所述传动杆中位置较高的一端铰接，所述传动杆中位置较低的一端安装有所述加热器；所述固定杆与第二升降机构之间设置有连接板，所述第一伸缩装置的固定端铰接在连接板上，所述第一伸缩装置的另一端与所述传动杆铰接。
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