[发明专利]一种金属化薄膜加工用预热真空镀膜机构有效

专利信息
申请号: 201610840534.4 申请日: 2016-09-22
公开(公告)号: CN106381468B 公开(公告)日: 2019-02-01
发明(设计)人: 沈艺辉 申请(专利权)人: 铜陵市铜创电子科技有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/56;H01G13/00
代理公司: 合肥东信智谷知识产权代理事务所(普通合伙) 34143 代理人: 王学勇
地址: 244000 安徽省铜陵市*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开一种金属化薄膜加工用预热真空镀膜机构,包括真空室以及设置在所述真空室中的喂入机构、镀膜机构、卷绕机构。喂入机构包括第一升降机构、喂入装置;在喂入机构与镀膜机构之间设置有预热机构;卷绕机构包括第五升降机构、卷绕装置;第五升降机构的伸缩端与卷绕装置配合用以带动卷绕装置上下运动。本发明具有的自动化程度高、补料/收料方便、及时、预热均匀、预热量可调、适用多种型号膜的加工、镀膜厚度可调的优点。
搜索关键词: 一种 金属化 薄膜 工用 预热 真空镀膜 机构
【主权项】:
1.一种金属化薄膜加工用预热真空镀膜机构,包括真空室以及设置在所述真空室中的喂入机构、镀膜机构、卷绕机构;所述喂入机构、镀膜机构、卷绕机构按照工艺流程从前至后依次设置;其特征在于:所述喂入机构包括第一升降机构、喂入装置;所述第一升降机构的伸缩端与所述喂入装置配合用以带动所述喂入装置上下运动;所述卷绕机构包括第五升降机构、卷绕装置;所述第五升降机构的伸缩端与卷绕装置配合用以带动所述卷绕装置上下运动;在所述喂入机构与镀膜机构之间设置有预热机构,所述预热机构用以对所述喂入机构喂入的绝缘薄膜进行预热;所述预热机构设置在所述真空室的内顶壁上;所述预热机构包括连杆传动机构、加热器、第一伸缩装置;所述连杆传动机构包括固定杆、传动杆;所述固定杆中位置较高的一端通过第二升降装置设置在所述真空室的内顶壁上,所述固定杆中位置较低的一端与所述传动杆中位置较高的一端铰接,所述传动杆中位置较低的一端安装有所述加热器;所述固定杆与第二升降装置之间设置有连接板,所述第一升降装置的固定端铰接在连接板上;所述第一伸缩装置的另一端与所述传动杆铰接;在所述预热机构的下方设置有皮带传送装置,所述皮带传送装置将从所述喂入机构喂入的绝缘薄膜向所述镀膜机构传送。
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