[发明专利]一种自动光学检测装置及其检测方法在审

专利信息
申请号: 201610795343.0 申请日: 2016-08-31
公开(公告)号: CN107782738A 公开(公告)日: 2018-03-09
发明(设计)人: 胡宇华;张鹏黎;王帆;徐文 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: G01N21/89 分类号: G01N21/89;H01L21/66
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 代理人: 屈蘅,李时云
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供一种自动光学检测装置及其检测方法。一种自动光学检测装置,包括工件台,作为控制中心的工控机,用于明场光源光路的第一光源,用于暗场光源光路的第二光源,用于明场的第一图像采集器,用于暗场的第二图像采集器,以及设置在明场光源光路中并通过同步控制系统控制的电动快门,且电动快门通过工控机指令同步控制系统在用于暗场光源光路的第二光源点亮前关闭明场光源光路。本发明通过在明场光源光路中设置由同步控制系统控制的电动快门,且电动快门通过工控机指令同步控制系统在用于暗场光源光路的所述第二光源点亮前关闭所述明场光源光路,不仅有效的消除了余辉效应,而且进一步提升了暗场采集图像的精确性。
搜索关键词: 一种 自动 光学 检测 装置 及其 方法
【主权项】:
一种自动光学检测装置,其特征在于,所述自动光学检测装置,包括:用于设置待光学检测之器件的工件台,且所述工件台在外界驱动装置的作用下按预设轨迹运行;作为自动光学检测装置之控制中心的工控机;用于明场光源光路的第一光源;用于暗场光源光路的第二光源;用于明场的第一图像采集器,且所述第一图像采集器在第一光源条件下进行待光学检测之器件的图像采集;用于暗场的第二图像采集器,且所述第二图像采集器在第二光源条件下进行待光学检测之器件的图像采集;以及设置在所述明场光源光路中并通过一同步控制系统控制的电动快门,且所述电动快门通过所述工控机指令所述同步控制系统在用于暗场光源光路的所述第二光源点亮前关闭所述明场光源光路。
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  • 2019-04-19 - 2019-08-20 - G01N21/89
  • 本发明公开了板材钻孔及表面缺陷检测装置及使用方法,其硬件设备包括:机架,所述机架设有质检工位,所述质检工位一侧供板材输入,另一侧供所述质检工位一侧供板材离开;安装在质检工位的扫描检测模块,用于对板材外型尺寸及正面钻孔情况、背面钻孔情况进行质检;宽度方向调节机构,安装于机架,供调节所述扫描检测模块在宽度方向的位置;到位开关,安装机架并位于质检工位的侧方;安装在质检工位的照明模块,用于向板材提供照射光源;计算机;输送装置,及输出设备。本发明用于对板式家具的外型尺寸、钻孔尺寸、钻孔位置及板表面缺陷等进行检测,分辨良品板材和次品板材,代替常规的人工质检手段。
  • 基于正交双目机器视觉的水果分级装置-201910520316.6
  • 陈熵;巫帮锡;李旭;谢方平;康江;谭宁宁;廖杰;刘成鑫 - 湖南农业大学
  • 2019-06-17 - 2019-08-20 - G01N21/89
  • 基于正交双目机器视觉的水果分级装置,其中,待测水果置于设置在密封箱体底板上的传送带上,电机与传送带连接,第一水果横向中心位置检测机构和第二水果横向中心位置检测机构设置在传送带两侧,密封箱体的上部安装有第一工业相机,密封箱体的右侧安装有第二工业相机,且第一工业相机与第二工业相机的中轴线正交;同时内置有图像采集模块的第一工业相机和第二工业相机分别与显示处理主机连接,显示处理主机内置有用于对图像实时进行处理的图像处理模块,第二水果横向中心位置检测机构上设置有用于进行计时的计时器;利用正交双目机器视觉技术对连续单个水果实现无损自动分级,分级准确率极高,速度快,具有广阔的应用前景。
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