[发明专利]浸没交换装置与方法有效
| 申请号： | 201610791454.4 | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN107783380B | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 丛国栋 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种浸没交换装置及方法，该装置包括机械手组件、交换板、设置于第一曝光台上的第一交换板接口和设置在第二曝光台上的第二交换板接口，所述第一交换板接口和第二交换板接口的结构相同；所述机械手组件，用以移动和承载所述交换板：所述交换板，用以被所述机械手组件移动、对接至所述第一交换板接口，且在对接后，所述交换板和第一曝光台被同步驱动移动，使得所述浸没液场自所述第一曝光台的曝光区域转移至所述交换板上；还用以对接至所述第二交换板接口，且在对接后，所述交换板和第二曝光台被同步驱动移动，使得所述浸没液场自所述交换板转移至所述第二曝光台的曝光区域，以进行在其上的曝光。 | ||
| 搜索关键词： | 浸没 交换 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种浸没交换装置，用于在第一曝光台和第二曝光台之间进行浸没交换时维持浸没液场，其特征在于：所述浸没交换装置包括机械手组件、交换板、设置于所述第一曝光台上的第一交换板接口和设置在所述第二曝光台上的第二交换板接口，所述第一交换板接口和所述第二交换板接口的结构相同；所述机械手组件，用以移动和承载所述交换板：所述交换板，用以被所述机械手组件移动、对接至所述第一交换板接口，且在对接后，所述交换板和第一曝光台被同步驱动移动，使得所述浸没液场自所述第一曝光台的曝光区域转移至所述交换板上；还用以对接至所述第二交换板接口，且在对接后，所述交换板和第二曝光台被同步驱动移动，使得所述浸没液场自所述交换板转移至所述第二曝光台的曝光区域，以进行在其上的曝光。
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