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[发明专利]一种光学元件损伤的在线监测方法及系统-CN202010866412.9有效
发明人： 殷伯华;刘垚;赵伟霞;刘俊标;高莹莹;韩立 -专利权人：中国科学院电工研究所
申请日： 2020-08-25 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： G01N29/07 文献下载
摘要：本发明公开了一种光学元件损伤的在线监测方法及系统，该方法包括：采集光学元件表面预设位置被照射时产生的超声信号；将超声信号转换为数字信号；根据数字信号、超声信号在光学元件中的传播速度、损伤直径、光学元件表面预设位置以及超声信号的出射位置计算损伤位置。通过实施本发明，采用光致声场效应，实现了激光器在正常工作情况下对光学元件损伤情况的实时在线监测；同时，通过获取超声信号的传播参数可以计算得到光学元件损伤位置与尺寸，便于详细了解光学元件损伤情况。由此，在激光器正常工作情况下可以及时移动透镜位置，避开损伤区域，有利于激光器寿命的提高。
一种光学元件损伤在线监测方法系统

[发明专利]一种电子束对中检测管以及电子束对中检测装置-CN201811181722.6有效
发明人：王岩;赵伟霞;刘俊标;殷伯华;董增雅;王丽娟;韩立 -专利权人：中国科学院电工研究所
申请日： 2018-10-11 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G01B7/312 文献下载
摘要：本发明公开了一种电子束对中检测管以及电子束对中检测装置。电子束对中检测管，包括：绝缘件、输出电极以及检测感应片；绝缘件与输出电极采用钎焊方式焊接在一起；多个检测感应片围成一个中空结构；绝缘件包裹于所述中空结构的上部；中空结构置于电子束管内；输出电极与检测感应片一一对应；输出电极沿着绝缘件的内壁穿出，与外部的电信号检测装置相连接；电子束管内的电子束与感应片相接触时产生电信号，电信号通过输出电极传输至电信号检测装置，若电信号检测装置接收到电信号时，则电子束未处于合轴状态，对电子束进行对中校正调试。采用本发明所提供的电子束对中检测管以及电子束对中检测装置能够降低电子束对中校正调试难度，缩短调试时间。
一种电子束检测以及装置

[发明专利]一种小型荷电控制电子枪-CN202010320989.X有效
发明人：王岩;邓晨晖;赵伟霞;刘俊标;殷伯华;韩立 -专利权人：中国科学院电工研究所
申请日： 2020-04-22 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： H01J37/073 文献下载
摘要：本发明涉及一种小型荷电控制电子枪。该电子枪包括：阴极、栅极、阳极、阴极输出电极和栅极输出电极；所述阴极固定在所述栅极上方，所述阴极与所述栅极之间相互绝缘；所述栅极固定在所述阳极上方，所述栅极与所述阳极之间相互绝缘；所述阴极上连接所述阴极输出电极，所述栅极上连接所述栅极输出电极，所述阴极输出电极和所述栅极输出电极均与外接电源装置连接，所述阳极接地；通过调节所述外接电源装置的电压对所述电子枪产生的电子束的质量进行调节；所述电子枪的直径不大于20mm，所述电子枪的高度不大于21mm。本发明可以实现电子束的控制调节，且体积小，不占用空间。
一种小型控制电子枪

[发明专利]一种具有多级差分真空系统的环境电子束加工设备-CN202310318129.6在审
发明人：王岩;王鹏飞;刘俊标;殷伯华;韩立 -专利权人：中国科学院电工研究所
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H01J37/304 文献下载
摘要：本发明涉及电子束加工技术领域，提供了一种具有多级差分真空系统的环境电子束加工设备，至少包括：真空腔室，适于为通过的电子束提供真空环境；至少一个第一节流气阻，设置在真空腔室内且位于电子束的束腰位置，第一节流气阻具有沿电子束的照射方向设置的缩孔结构，适于供电子束通过的同时隔离真空，以使第一节流气阻上游的真空腔室与下游的真空腔室的真空度形成差异。本发明提供的具有多级差分真空系统的环境电子束加工设备，在真空腔室内至少设置有一个第一节流气阻用于隔离真空，使第一节流气阻上游的真空腔室与下游的真空腔室的真空度形成差异，从而可以在电子枪位置提供更高的真空度，在下游真空腔室或者成型腔室位置提供更低的真空度。
一种具有多级真空系统环境电子束加工设备

[发明专利]工业生产烘燥系统及其控制方法和烘燥设备-CN202211481613.2在审
发明人：陈昊;王岩;赵慧斌;殷伯华;韩立 -专利权人：齐鲁中科电工先进电磁驱动技术研究院;中国科学院电工研究所
申请日： 2022-11-24 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： F26B15/00 文献下载
摘要：本发明涉及烘燥系统技术领域，具体涉及一种工业生产烘燥系统及其控制方法和烘燥设备。所述工业生产烘燥系统包括：主体部，内设有循环风机组件、排湿风机组件以及加热组件；第一含水率传感器，设于所述主体部的进口处和出口处；第一温度传感器，设于所述主体部中游段；第一湿度传感器，设于所述主体部中游段；第二湿度传感器，设于所述主体部下游段；第二温度传感器，设于所述主体部下游段。本发明提供的工业生产烘燥系统，能够以工艺参数为目标，对各部分机构的设定参数进行在线调节，时效性较强，能源利用率和自动化程度较高。
工业生产系统及其控制方法设备

[发明专利]一种透镜组件及具有其的激光位移传感器-CN202110985306.7有效
发明人：初明璋;赵慧斌;殷伯华;许广鹿;韩立 -专利权人：齐鲁中科电工先进电磁驱动技术研究院;中国科学院电工研究所
申请日： 2021-08-25 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G02B13/00 文献下载
摘要：本发明涉及激光测量技术领域，具体涉及一种透镜组件及具有其的激光位移传感器。一种透镜组件，包括：沿光线传输方向依次同轴设置的第一透镜、第二透镜和第三透镜，所述第一透镜和第三透镜均为双凸透镜，第二透镜为双凹透镜，且所述第一透镜和第三透镜的折射率均大于第二透镜的折射率，所述第一透镜和第三透镜的阿贝数均小于第二透镜的阿贝数。本发明测量精度较高。
一种透镜组件具有激光位移传感器

[发明专利]一种物镜及环境扫描电镜-CN202211347606.3在审
发明人：王鹏飞;史丽娜;赵伟霞;刘俊标;殷伯华;王岩;董增雅;韩立 -专利权人：中国科学院电工研究所
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： H01J37/141 文献下载
摘要：本发明涉及电子显微成像技术领域，提供了一种物镜及环境扫描电镜，该物镜至少包括：上极靴，具有连接部与工作部，工作部具有中空的容纳腔，适于形成电子束通道；下极靴，与连接部相连，且工作部至少部分插置在下极靴内，下极靴的内侧壁与工作部的外侧壁之间的区域形成过渡真空区；下极靴的侧壁上设置有第一抽气孔，适于通过第一抽气孔对过渡真空区进行抽真空；密封结构，设置在下极靴远离上极靴的一端，以将电子束通道与过渡真空区相隔开，以及将过渡真空区与外部环境相隔开；密封结构具有气体通道以及使电子束通过的第一通孔，气体通道连通第一通孔与过渡真空区。该物镜，扫描过程中更容易维持电子束通道的高真空度，从而提高扫描效果。
一种物镜环境扫描电镜

[发明专利]一种多束电子束束斑的测量装置及方法-CN202210842745.7在审
发明人：张利新;王岩;赵伟霞;刘俊标;殷伯华;王鹏飞;韩立 -专利权人：中国科学院电工研究所
申请日： 2022-07-18 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： H01J37/244 文献下载
摘要：本发明涉及多束电子束束斑测量技术领域，提供了一种多束电子束束斑的测量装置及方法，该装置包括真空腔室以及形成于真空腔室内的多束电子束，至少包括：刀口件，可移动的设置在真空腔室内，且位于多束电子束的照射路径上，刀口件上具有适于电子束通过的刀口，刀口件能够在移动过程中对多束电子束中的至少部分电子束进行遮挡；电子束收集结构，位于真空腔室内，且位于刀口件的下游，适于收集从刀口射出的电子束，并将其转化为电信号；数据处理模块，与电子束收集结构信号连接，适于接收电信号，并根据电信号获取各个电子束的束斑分布与束斑大小。该测量装置，可以获取各个电子束的束斑分布与束斑大小，满足观察和测量的需求。
一种电子束测量装置方法

[发明专利]一种电子束参数测量装置及电子束参数测量方法-CN202210786535.0在审
发明人：赵伟霞;张利新;刘俊标;王岩;邓晨晖;殷伯华;王鹏飞;马玉田;韩立 -专利权人：中国科学院电工研究所
申请日： 2022-07-04 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： G01T1/29 文献下载
摘要：本发明涉及电子束测量技术领域，具体涉及一种电子束参数测量装置及电子束参数测量方法。一种电子束参数测量装置，包括：微器件阵列结构多层板，所述多层板上设有多个阵列分布的法拉第杯组件，每个所述法拉第杯组件包括同轴设置的至少两个法拉第杯，至少两个所述法拉第杯贯通设置，电子束经上层所述法拉第杯射入下层所述法拉第杯中，获取每层所述法拉第杯的电子束束流大小，以得到所述电子束的相应参数。本发明提供了一种可快速测量的电子束参数测量装置及电子束参数测量方法。
一种电子束参数测量装置测量方法

[发明专利]一种数字多道脉冲幅度分析装置-CN202111393838.8在审
发明人： 殷伯华;程隆军;初明璋;刘俊标;韩立 -专利权人：中国科学院电工研究所
申请日： 2021-11-23 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： G01T1/36 文献下载
摘要：本发明公开了一种数字多道脉冲幅度分析装置，分别包括：信号调理模块、数模转换芯片、FPGA数字处理模块、存储器、多核DSP芯片、电源模块、时钟模块和显示模块。将现有技术中前置放大器和数模转换芯片采样之间的模拟电路的脉冲处理功能使用FPGA数字处理模块和多核DSP芯片实现，通过第一预设算法、第二预设算法处理。该第一预设算法以及第二预设算法的具体过程是前置放大器输出的信号经过简单的主放大电路之后直接被数模转换芯片采样，然后在多核DSP芯片中实现阈值定位、脉冲计数或堆积判别、峰值提取、脉冲计数，进而可以使得本发明实施例中的数字多道脉冲幅度分析装置体积较小，结构简单，方便调试修改参数。
一种数字多道脉冲幅度分析装置

[发明专利]一种电子枪束斑性能的测量装置及测量方法-CN202010127806.2有效
发明人：王岩;邓晨晖;赵伟霞;殷伯华;刘俊标;韩立 -专利权人：中国科学院电工研究所
申请日： 2020-02-28 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： G01T1/29 文献下载
摘要：本发明公开了一种电子枪束斑性能的测量装置及测量方法，测量装置包括荷电控制电子枪、精密位移台、法拉第杯、皮安表、计算机。基于法拉第杯小孔扫描进行测量，获得束斑直径大小、束斑分布特性图、电子束发散角等电子束束斑性能的重要参数，以实现对电子束束斑全面、准确、深入地分析，进而能够准确判断电子枪产生的电子束是否满足使用要求，并对电子枪的结构设计优化和安装调试起到指导作用。
一种电子枪性能测量装置测量方法

[发明专利]高功率密度的电子束聚焦装置-CN201811281545.9有效
发明人：刘俊标;王丽娟;赵伟霞;王岩;董增雅;王鹏飞;李文萍;殷伯华;韩立 -专利权人：中国科学院电工研究所
申请日： 2018-10-23 - 公布日： 2021-09-14 - 主分类号： H01J37/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种高功率密度的电子束聚焦装置，包括沿电子束发射方向依次设置的聚光镜模块、辅助聚光镜模块和物镜模块；所述聚光镜模块用于形成第一磁场，以使电子束形成交叉点；所述辅助聚光镜模块用于形成第二磁场，以使电子束的运动轨迹跟光轴平行，形成平行束，所述第一磁场比第二磁场的磁场强度大；所述物镜模块用于形成第三磁场，使电子束聚焦到靶材平面。采用聚光镜、辅助聚光镜和物镜的多透镜组合方式，实现电子束的交叉‑平行‑聚焦控制，从而获得电子束系统的高缩小倍率、小像差以及束流的高效率传递。
功率密度电子束聚焦装置

[发明专利]一种具有选择功能的法拉第杯装置-CN202110548318.3在审
发明人：王鹏飞;刘俊标;孟彦婷;殷伯华;孙博彤;王岩;韩立 -专利权人：中国科学院电工研究所
申请日： 2021-05-19 - 公布日： 2021-08-17 - 主分类号： H01J37/244 文献下载
摘要：一种具有选择功能的法拉第杯装置，属于电学检测部件技术领域。包括法拉第杯本体；第一绝缘件，设置在法拉第杯本体的封口端；第二绝缘件，设置在法拉第杯本体的开口端；电子束通道，位于拉第杯本体的开口端，并与法拉第杯本体的内部空间相连通；电子束选择组件，位于第二绝缘件远离法拉第杯本体的一侧，电子束选择组件向电子束通道提供电场力和磁场力，从而使电子束通道内的部分带电粒子产生偏移。电子束通过本发明的电子束通道时，电子束中速度和方向在选择范围外的带电粒子，受到电场力和磁场力的作用导致移动路径产生偏移而撞击在电子束通道上，而在选择范围内的带电粒子能够进入到法拉第杯本体内，实现对电子束中的带电粒子进行选择的功能。
一种具有选择功能法拉第装置

[发明专利]一种具有静电消除功能的电子束加工装置-CN202110482771.9在审
发明人：王岩;王鹏飞;孙博彤;殷伯华;刘俊标;韩立 -专利权人：中国科学院电工研究所
申请日： 2021-04-30 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： H05F3/04 文献下载
摘要：一种具有静电消除功能的电子束加工装置，属于电子束加工设备技术领域。包括壳体，内部形成加工待加工品的加工空间；加工用电子枪，与加工空间相连通，加工用电子枪用于向待加工品发射第一电子束；静电消除装置，与加工空间相连通，静电消除装置用于向待加工品发射第二电子束；第二电子束使待加工品产生的电荷与第一电子束使待加工品产生的电荷相抵消。本发明当加工用电子枪发射第一电子束对待加工品进行加工后，第一电子束会导致待加工品表面出现静电积累，使用静电消除装置向待加工品发射第二电子束，第二电子束使待加工品产生的电荷能够与第一电子束使待加工品产生的电荷相抵消，从而消除待加工品的静电，进而保证加工的良品率。
一种具有静电消除功能电子束加工装置

[发明专利]热反射测量系统-CN201810714764.5有效
发明人：刘珠明;郑利兵;孙方远;殷伯华;韩立 -专利权人：中国科学院电工研究所
申请日： 2018-06-29 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： G01N25/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种热反射测量系统，通过光路调整测量装置产生的第一激光束即探测光和第二激光束即加热光均通过近场探测装置，通过近场探测装置可以突破远场衍射极限，大大提高分辨率，由于分辨率会受近场探测装置与待测样品之间的距离影响，因此，采用距离控制装置检测并调整所述近场探测装置与所述待测样品的之间距离可以较好的保证近场探测装置进行近场探测。因此，第一激光束即探测光和第二激光束即加热光均通过近场探测装置，并通过距离控制装置控制近场探测装置与待测样品之间的距离，可以较大幅度的提高热反射测量的空间分辨率。
反射测量系统

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