[发明专利]一种单晶炉石英坩埚的装料方法

摘要

本发明公开了一种直径23英寸，高度430mm的单晶炉石英坩埚的装料方法，包括A、B、C、D、E、F、G七种料，A料粒径为50‑90mm，B料粒径为20‑80mm，C料粒径为3‑10 mm，D料粒径为20‑50mm，E料粒径为200‑350mm，F料粒径为150‑220mm，G料粒径为2‑5mm，其中A料体积占总加料量的32%，B料体积占总加料量的16%，C料体积占总加料量的6%，D料体积占总加料量的4%，E料体积占总加料量的31%，F料体积占总加料量的5%，G料体积占总加料量的6%，按照以下加料顺序将上述七种料均匀铺层加入坩埚内：首先加入½的C料，然后加入½的B料，再加入½的C料，然后加入E料，再加入½的B料，之后依次加入G料、F料、D料和A料；对同样尺寸的坩埚，本发明公开的装料方法能获得最大装料量。

主权项

1. 一种单晶炉石英坩埚的装料方法，其特征在于：包括A、B、C、D、E、F、G七种料，A料粒径为50‑90mm，B料粒径为20‑80mm，C料粒径为3‑10 mm，D料粒径为20‑50mm，E料粒径为200‑350mm，F料粒径为150‑220mm，G料粒径为2‑5mm，其中A料体积占总加料量的32%，B料体积占总加料量的16%，C料体积占总加料量的6%，D料体积占总加料量的4%，E料体积占总加料量的31%，F料体积占总加料量的5%，G料体积占总加料量的6%，按照以下加料顺序将上述七种料均匀铺层加入坩埚内：首先加入C料的二分之一，然后加入B料的二分之一，再加入余下二分之一的C料，然后加入E料，再加入余下二分之一的B料，之后依次加入G料、F料、D料和A料；所述坩埚为直径23英寸，高度430mm。