[发明专利]磁化处理装置和磁化处理方法有效
| 申请号： | 201610740527.7 | 申请日： | 2016-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN106486597B | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 榎本忠;斋藤诚 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01L43/12 | 分类号： | H01L43/12 |
| 代理公司： | 11277 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种磁化处理装置和磁化处理方法。本实施方式的磁化处理装置具有：载置台，其用于对收纳有多个基板的收纳容器进行载置；磁化处理室，其能够收容所述收纳容器，用于对所述收纳容器内的所述多个基板施加磁场；输送机构，其能够从所述载置台向所述磁化处理室内输送所述收纳容器。 | ||
| 搜索关键词： | 磁化 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种磁化处理装置，其具有：/n载置台，其固定于第1区域，用于对收纳有多个基板的收纳容器进行载置；/n磁化处理室，其放置于第2区域，能够收容所述收纳容器，用于对所述收纳容器内的所述多个基板施加磁场；/n以及输送机构，其能够从所述载置台将所述收纳容器抬起，并将所抬起的收纳容器向所述磁化处理室内输送，/n其中，所述收纳容器是由非磁性材料形成的密闭型的容器，/n所述输送机构将所述收纳容器以密闭了的状态从所述载置台向所述磁化处理室内输送。/n
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