[发明专利]一种吸波多层薄膜及其制备方法

摘要

本发明涉及磁性材料制备领域，特别涉及一种吸波多层薄膜及其制备方法。该吸波多层薄膜为制备于衬底上的多层薄膜，从下至上分为三个部分，依次为衬底、中间层和顶层。中间层是由n个单元从下至上依次依次堆叠而成，n≥1，单元是下层共振吸收频率为f1的磁性层和上层是隔离层的双层单元结构，最终依次堆叠为f1‑fn共计2n层的中间层。顶层是由均匀排布的相同条形FeCo基合金磁性薄膜组合而成，条形薄膜的数量≥2。f1‑fn的磁性层的共振吸收频率相同和/或不同。本发明将吸波多层薄膜的吸收频带有效拓宽，并且不局限于材料本身的吸收频率，且有效的将材料的吸收频带拓宽至高频，可用于噪声抑制器，传输线等器件中。

主权项

1.一种吸波多层薄膜，从下至上依次为衬底、中间层和顶层，其特征在于：所述中间层是由n个单元从下至上依次堆叠而成，n≥1，单元是下层共振吸收频率为f1的磁性层和上层是隔离层的双层单元结构，最终依次堆叠为f1‑fn共计2n层的中间层，隔离层材料为SiO2，Cu或Al2O3非磁性材料，厚度为5nm～15nm；顶层是由均匀排布的相同条形磁性薄膜组合而成，条形薄膜的数量≥2，宽度为1μm～30μm，厚度为15nm～200nm，相邻条形磁性薄膜之间的间隔为1μm～10μm，材料为FeCo基合金材料；整个吸波多层薄膜基于衬底、中间层和顶层的结构形成由隔离层间隔的共振吸收频率磁性层的多层薄膜材料。