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[发明专利]一种宽频带吸波多层薄膜及其制备方法-CN201710442593.0有效
发明人：张丽;刘曜铭;李梦;张敏;郑菡雨;陆海鹏;谢建良;邓龙江 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2017-06-13 - 公布日： 2019-04-05 - 主分类号： H01F10/32 文献下载
摘要：本发明涉及磁性材料制备领域，特别涉及一种宽频带吸波多层薄膜及其制备方法。本发明仅使用一种磁性Fe基材料，在衬底上进行光刻，且光刻后的样品在磁控溅射腔体内只需交替溅射即可完成各层薄膜的制备，宽频带吸波多层薄膜制备工艺简单，成本低。
一种宽频带吸波多层薄膜及其制备方法

[发明专利]一种吸波多层薄膜及其制备方法-CN201610729646.2有效
发明人：张丽;李梦;郑菡雨;王昕;邓龙江;谢建良;梁迪飞;周佩珩;陆海鹏 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2016-08-26 - 公布日： 2018-11-13 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及磁性材料制备领域，特别涉及一种吸波多层薄膜及其制备方法。该吸波多层薄膜为制备于衬底上的多层薄膜，从下至上分为三个部分，依次为衬底、中间层和顶层。中间层是由n个单元从下至上依次依次堆叠而成，n≥1，单元是下层共振吸收频率为f1的磁性层和上层是隔离层的双层单元结构，最终依次堆叠为f1‑fn共计2n层的中间层。顶层是由均匀排布的相同条形FeCo基合金磁性薄膜组合而成，条形薄膜的数量≥2。f1‑fn的磁性层的共振吸收频率相同和/或不同。本发明将吸波多层薄膜的吸收频带有效拓宽，并且不局限于材料本身的吸收频率，且有效的将材料的吸收频带拓宽至高频，可用于噪声抑制器，传输线等器件中。
一种多层薄膜及其制备方法

[发明专利]一种宽频带吸波磁性薄膜及其制备方法-CN201610341269.5有效
发明人：张丽;李梦;高丽娜;朱文斌;郑菡雨;王昕;邓龙江;谢建良;梁迪飞;周佩珩;陆海鹏 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2016-05-23 - 公布日： 2018-05-18 - 主分类号： H01F41/14 文献下载
摘要：本发明属于磁性材料制备技术领域，特别是涉及一种宽频带吸波磁性薄膜及其制备方法。该宽频带吸波磁性薄膜为制备于衬底上呈周期性排列的薄膜，基本单元是由2个以上不同宽度的条形薄膜构成，条形薄膜宽度是1μm‑30μm，相邻条形薄膜间的间隙宽度为1μm‑10μm，厚度为20‑200nm。其排列周期为基本单元沿条形薄膜的短轴方向依次排列，材料为铁钴基合金材料。本发明将具有相同宽度条形间隙的不同宽度的条形薄膜组合，通过间隙阻断薄膜间的耦合作用，使不同条形薄膜对应的共振峰能够有效的叠加在一起，达到展宽薄膜共振频带的目的。本发明制备的宽频带吸波磁性薄膜具有高频，宽频带吸波性能，制备过程简单易实施，成本低。
一种宽频带吸波磁性薄膜及其制备方法