[发明专利]基于MEMS微执行器的可调太赫兹波导带阻滤波器

摘要

本发明公开了一种基于MEMS微执行器的可调太赫兹波导带阻滤波器，包括矩形波导、MEMS微执行器及谐振结构；所述矩形波导由对称结构的上腔体和下腔体构成，所述上腔体和下腔体接触面中段均设有矩形直波导，所述矩形直波导两侧对称设置有与其连通的微执行器安装槽；所述MEMS微执行器安装在矩形波导的微执行器安装槽内，其包括驱动器和波导基体；所述驱动器与谐振结构连接，其关于谐振结构对称安装在波导基体表面。本发明采用MEMS微执行器调节太赫兹频段滤波器频率，具有工作频率高，调谐范围广，易于制造，通用性强等优点，在太赫兹系统中具有良好的应用前景。

主权项

1.一种基于MEMS微执行器的可调太赫兹波导带阻滤波器，其特征在于，包括矩形波导、MEMS微执行器及谐振结构；所述矩形波导由对称结构的上腔体和下腔体构成，所述上腔体和下腔体接触面中段均设有矩形直波导，所述矩形直波导两侧对称设置有与其连通的微执行器安装槽；所述MEMS微执行器安装在矩形波导的微执行器安装槽内，其包括驱动器和波导基体；所述驱动器与谐振结构连接，其关于谐振结构对称安装在波导基体表面；所述谐振结构采用圆形开口谐振环；所述开口谐振环由内外两个开口环镶嵌构成，设置在波导基体表面中心；所述开口谐振环两开口连线平行于波导基体长边；所述MEMS微执行器采用静电梳齿微执行器；所述驱动器对称安装在谐振结构两侧，包括锚点、可动梳齿、固定梳齿、折叠梁及可动横梁；所述固定梳齿和折叠梁的固定端通过锚点固定在波导基体上；所述可动横梁两侧对称设置有与其连接的可动梳齿与固定梳齿，所述可动横梁还分别与折叠梁的自由端及谐振结构连接；所述可动梳齿与固定梳齿相间交错设置。