[发明专利]一种盖板及其制作方法有效
申请号: | 201610565187.9 | 申请日: | 2016-07-15 |
公开(公告)号: | CN106028716B | 公开(公告)日: | 2018-11-16 |
发明(设计)人: | 朱杰;蔡良照;郑志智;谢康 | 申请(专利权)人: | 信利光电股份有限公司 |
主分类号: | H05K5/02 | 分类号: | H05K5/02;G03F1/50 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 王宝筠 |
地址: | 516600 广东省汕尾*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请提供了一种盖板及其制作方法,通过在所述基板的正面和背面分别形成图形化的第一掩膜层和第二掩膜层;其中,所述第一掩膜层包括至少一个预设掩膜,所述预设掩膜覆盖待形成盖板的区域;所述第二掩膜层的图形为所述第一掩膜层的图形在垂直于所述基板正面或背面方向的投影;以所述第一掩膜层和第二掩膜层为掩膜对所述基板进行双面刻蚀,形成独立的盖板,通过直接刻蚀得到独立的盖板外形,避免了CNC工艺,从而提高了生产效率和成品合格率,降低了小尺寸盖板的生产成本,同时在强度方面也有很大的提升。 | ||
搜索关键词: | 一种 盖板 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
1.一种盖板的制作方法,其特征在于,包括:提供基板,所述基板包括相对的正面和背面;形成图形化的第一掩模层和图形化的第二掩模层,其中,所述第一掩模层位于所述基板的正面,所述第二掩模层位于所述基板的背面;所述第一掩模层包括至少一个预设掩模,所述预设掩模覆盖待形成盖板的区域;所述第二掩模层的图形为所述第一掩模层的图形在垂直于所述基板正面或背面方向的投影;所述预设掩模的图形为沿所述待形成盖板的横截面的边缘向外扩展所述待形成盖板横截面积的0.01%~10%后的图形,或所述预设掩模的图形为所述待形成盖板的横截面;以所述第一掩模层和第二掩模层为掩模对所述基板进行双面刻蚀,形成独立的盖板,包括:沿所述预设掩模的外围切割所述基板,形成多个中片,对所述中片进行双面刻蚀,形成独立的盖板。
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