[发明专利]具有双重质量块和集成式阻尼结构的多轴惯性传感器有效
申请号: | 201610537705.6 | 申请日: | 2016-07-08 |
公开(公告)号: | CN106370889B | 公开(公告)日: | 2020-01-31 |
发明(设计)人: | 汤俊;阿龙·A·盖斯贝格尔;玛格丽特·L·克尼芬 | 申请(专利权)人: | 恩智浦美国有限公司 |
主分类号: | G01P15/125 | 分类号: | G01P15/125;G01P15/18;B81B3/00;B81B5/00 |
代理公司: | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 王洵 |
地址: | 美国德*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 一种惯性传感器包括从衬底悬置且通过横杆互连的第一可移动元件和第二可移动元件。第二可移动元件邻近于第一可移动元件横向放置,并且可移动元件中的每一个具有相对于旋转轴不对称的质量块。第一弹簧系统将第一可移动元件耦合到衬底并且第二弹簧系统将第二可移动元件耦合到衬底。弹簧系统和横杆使得可移动元件能够响应于施加在可移动元件上的力一起移动。具体地说,第一可移动元件和第二可移动元件可以响应于施加在感测方向上的例如加速度等力而经历平面内扭转运动。另外,阻尼结构可以集成到第一可移动元件和第二可移动元件中以有效地增大由平面内扭转运动引起的装置的阻尼比。 | ||
搜索关键词: | 具有 双重 质量 集成 阻尼 结构 惯性 传感器 | ||
【主权项】:
1.一种惯性传感器,其特征在于,包括:/n衬底;/n第一可移动元件,所述第一可移动元件从所述衬底悬置;/n第二可移动元件,所述第二可移动元件从所述衬底悬置并且邻近于所述第一可移动元件横向放置,所述第一可移动元件和所述第二可移动元件中的每一个具有相对于旋转轴不对称的质量块;/n第一弹簧系统,所述第一弹簧系统将所述第一可移动元件耦合到所述衬底;以及/n第二弹簧系统,所述第二弹簧系统将所述第二可移动元件耦合到所述衬底,其中所述第一弹簧系统和所述第二弹簧系统使得所述第一可移动元件和所述第二可移动元件能够响应于在至少两个正交方向上施加于所述第一可移动元件和所述第二可移动元件上的力一起移动;/n所述第一弹簧系统和所述第二弹簧系统促进所述第一可移动元件和所述第二可移动元件响应于在基本上平行于所述衬底的表面的第一方向上施加于所述第一可移动元件和所述第二可移动元件上的第一力进行平移运动;并且/n所述第一弹簧系统和所述第二弹簧系统另外促进所述第一可移动元件和所述第二可移动元件响应于在基本上平行于所述衬底的所述表面的第二方向上施加于所述第一可移动元件和所述第二可移动元件上的第二力进行平面内扭转运动,所述第二方向基本上正交于所述第一方向。/n
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