[发明专利]掩膜版图形的修正方法有效
| 申请号： | 201610407445.0 | 申请日： | 2016-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN107490931B | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 杜杳隽;李亮 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
| 主分类号： | G03F1/36 | 分类号： | G03F1/36;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 徐文欣;吴敏 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种掩膜版图形的修正方法，包括：提供芯片图形区，所述芯片图形区包括多个主图形；对所述主图形进行曝光处理，获取曝光后的第一光强分布；对所述第一光强分布进行光强变化率极值处理，获取零值位置信息；对所述辅助图形进行曝光处理，获取曝光后的第二光强分布；获取所述第二光强分布的极值位置信息；采用所述极值位置信息和零值位置信息进行匹配，获取辅助图形位置；在芯片图形区与所述辅助图形位置对应处设置辅助图形。所述形成方法不需要大量的数值计算，从而能够降低计算的复杂度，提高计算效率；此外，利用这种方法获取辅助图形的设置位置不需要依靠设计人员的经验，精确度较高。 | ||
| 搜索关键词： | 版图 修正 方法 | ||
【主权项】：
一种掩膜版图形的修正方法，其特征在于，包括：提供芯片图形区，所述芯片图形区包括多个主图形；对所述主图形进行曝光处理，获取曝光后的第一光强分布；对所述第一光强分布进行光强变化率极值处理，获取零值位置信息；提供辅助图形；对所述辅助图形进行曝光处理，获取曝光后的第二光强分布；获取所述第二光强分布的极值位置信息；采用所述极值位置信息和零值位置信息进行匹配，获取辅助图形位置；在芯片图形区与所述辅助图形位置对应处设置辅助图形；在设置辅助图形后，对所述芯片图形区进行光学邻近效应修正，获得修正图形。
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G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其专门适用于此的容器；其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如通过电子束；其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM]；PSM空白；其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜；其制备，例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜，例如用于校准或测试的特殊涂层或标记；其制备
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