[发明专利]成膜装置及成膜方法在审
| 申请号： | 201610390680.1 | 申请日： | 2016-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN106480402A | 公开（公告）日： | 2017-03-08 |
| 发明（设计）人： | 市冈圣菜;吉牟田利典;徳田敏;吉冈尚规;上野智子;尾崎悟 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/20;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司11019 | 代理人： | 寿宁,张华辉 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种成膜装置及成膜方法，在聚碳酸酯上形成金属薄膜的情况下，能防止金属薄膜剥离，另外，在其他树脂上形成金属薄膜的情况下，能提高金属薄膜的反射率。在不会使水分附着于从树脂成型机(63)搬出的成型后的工件(W)的表面的60秒以内的短时间内，完成从树脂成型机(63)中的工件导入部(62)向成膜腔室(10)搬送工件(W)。由此，能防止聚碳酸酯制的工件(W)的表面在成膜过程中发生水解，从而能防止通过溅射而形成的金属薄膜剥离这一现象。另外，通过减少附着于树脂基材的水分，能防止Al氧化而获得良好的反射率。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种成膜装置，其是在通过树脂成型机而成型的聚碳酸酯制的工件上形成金属薄膜的成膜装置，其特征在于包括：成膜部，包括收纳所述工件的腔室、与具备靶材材料且配设于所述腔室内的溅射电极；以及搬送部，在不会使水分附着于所述工件的表面的短时间内，将所述通过树脂成型机而成型的工件从所述树脂成型机搬送至所述腔室。
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