[发明专利]一种对位标记及其制备方法、基板、显示面板、显示装置有效
| 申请号： | 201610379091.3 | 申请日： | 2016-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN105870103B | 公开（公告）日： | 2019-07-12 |
| 发明（设计）人： | 田宏伟;牛亚男;刘亮亮;张朝波;绰洛鹏 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及显示技术领域，提供了一种对位标记及其制备方法、基板、显示面板、显示装置，对位标记包括防护墙和用于与掩膜板之间进行对位的对位标记主体，所述对位标记主体位于所述防护墙围成的内部区间内。本发明提供的对位标记中，对位标记主体用于与掩膜板进行对位，并且，对位标记主体位于防护墙围成的内部区间内，防护墙的存在能够减少对位标记主体周边的图案密度与结构层中心位置图案密度之间的差异，进而减少了在蚀刻过程中刻蚀液对于对位标记主体图形造成的偏差影响，从而能够提高掩膜板与结构层之间的对位精度，提高后续对位精度。 | ||
| 搜索关键词： | 对位标记 防护墙 对位 掩膜板 显示面板 显示装置 结构层 基板 制备 蚀刻 图案 偏差影响 主体图形 主体周边 刻蚀液 | ||
【主权项】：
1.一种对位标记，其特征在于，包括防护墙和用于与掩膜板之间进行对位的对位标记主体，所述对位标记主体位于所述防护墙围成的内部区间内；其中，所述防护墙上设有标识机构以使所述防护墙的形状区别于所述对位标记主体的形状；所述防护墙上设有的标识机构包括多个连通所述防护墙的内部区间与外部环境的通液通道。
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