[发明专利]一种用于触摸屏的ATO薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201610344330.1 | 申请日： | 2016-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN105970167A | 公开（公告）日： | 2016-09-28 |
| 发明（设计）人： | 黄勇彪;籍龙占;林文宝;刘海燕;涂代旺;郑林芬;谢丑相;王国昌 | 申请（专利权）人： | 深圳市众诚达应用材料科技有限公司;杭州朗旭新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/58;C23C14/02;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 518106 广东省深圳市光明新*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于触摸屏的ATO薄膜包括衬底基片和ATO薄膜，所述ATO薄膜为掺锑氧化锡，所述锑含量为0.1‑15wt％；制备方法为：1)清洗衬底基片；2)溅射镀膜；3)退火处理。采用本发明的一种用于触摸屏的ATO薄膜及其制备方法制备的用于触摸屏的ATO薄膜克服了传统电极材料制备工艺复杂的缺点，具有高透过率、高电阻、高硬度的特点，且制备方法的工艺重复稳定性好、生产效率高，易于大规模工业生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 触摸屏 ato 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于触摸屏的ATO薄膜，其特征在于：包括衬底基片和ATO薄膜，所述ATO薄膜为掺锑氧化锡，所述锑含量为0.1‑15wt％。
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