[发明专利]工件搬运系统有效
申请号: | 201610334362.3 | 申请日: | 2012-11-20 |
公开(公告)号: | CN105931980B | 公开(公告)日: | 2019-08-09 |
发明(设计)人: | 改野重幸 | 申请(专利权)人: | 日本电产三协株式会社 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 沈捷 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本申请提供一种工件搬运系统,该工件搬运系统能够改善所使用的生产线的生产效率。例如,工件搬运系统(1)具有:机器人(11、12),其配置在对工件(W)进行规定处理的处理模组(4、6)的前方,且向处理模组(4、6)搬入工件(W)以及从处理模组(4、6)搬出工件(W);工件收纳部(13),其收纳向处理模组(4、6)搬入的工件(W)以及从处理模组(4、6)搬出的工件(W);以及移动机构(14),其使工件收纳部(13)朝向与相对于处理模组(4、6)搬入搬出工件(W)的方向大致正交的方向移动。 | ||
搜索关键词: | 工件 搬运 系统 | ||
【主权项】:
1.一种工件搬运系统,其特征在于,该工件搬运系统具有:机器人,其配置在对工件进行规定处理的处理模组的前方,且所述机器人向所述处理模组搬入所述工件以及从所述处理模组搬出所述工件;至少一个工件收纳部,其收纳向所述处理模组搬入的所述工件以及从所述处理模组搬出的所述工件;以及移动机构,其使所述工件收纳部朝向与相对于所述处理模组搬入搬出所述工件的第一方向正交的第二方向沿一直线往返移动,所述工件搬运系统具有排列在所述第二方向上的多个所述机器人,在所述工件收纳部能够收纳多个所述工件,所述机器人具有装载所述工件的两个末端效应器和使所述末端效应器升降的升降机构,构成一个组的处理模组以在上下方向上重叠的方式配置,构成另一个组的处理模组以在上下方向上重叠的方式配置,所述构成一个组的处理模组与所述构成另一个组的处理模组以在所述第二方向上隔开规定间隔的状态配置,所述移动机构能改变所述工件收纳部的移动速度。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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