[发明专利]一种用于激光干涉仪测量导轨直线度的光学系统

摘要

本发明提供一种用于激光干涉仪测量导轨直线度的光学系统，包括：探测光学组件、光学转向镜、可旋转激光头和外光路组件，光束通过所述探测光学组件实现双通道的光学探测，所述光学转向镜用于实现光束的下移和转向以适应所述探测光学组件的探测需求，所述可旋转激光头为设置于所述探测光学组件和外光路组件之间的可旋转回光部件，所述外光路组件用于测量所述光学系统的外光路。本发明通过三维光学转向镜大大简化了垂直方向直线度测量的设置和步骤，所述探测光学组件实现双通道的光学探测，简化了光学系统的光学元件，最大化的利用了光学元件，节约仪器设计的空间；同时，所述可旋转激光头的激光回光孔设计得更为合理，充分利用了现有的孔位。

主权项

1.一种用于激光干涉仪测量导轨直线度的光学系统，其特征在于，包括：探测光学组件、光学转向镜、可旋转激光头和外光路组件，光束通过所述探测光学组件实现双通道的光学探测，所述光学转向镜用于实现光束的下移和转向以适应所述探测光学组件的探测需求，所述可旋转激光头为设置于所述探测光学组件和外光路组件之间的可旋转回光部件，所述外光路组件用于测量所述光学系统的外光路；所述探测光学组件包括一个消偏振分光棱镜和两个偏振分光棱镜，所述两个偏振分光棱镜分别设置于所述消偏振分光棱镜的相互垂直的两侧，光束的回射光经过所述消偏振分光棱镜分别达到所述两个偏振分光棱镜；光束从光学转向镜的上部入射，经过第一次反射向下偏移，光束传播的主面为XZ平面，并且光束的传播方向从x轴方向变为z轴方向；在第二次反射时，光束传播的主面为YZ平面，光束通过第二个反射面时，光束的传播方向从z轴方向变为y轴方向。