[发明专利]一种电子束准直装置及电子束准直系统有效
| 申请号： | 201610242353.1 | 申请日： | 2016-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN105742335B | 公开（公告）日： | 2018-09-11 |
| 发明（设计）人： | 尤文龙;王雪峰 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | H01L29/02 | 分类号： | H01L29/02;H01L21/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 215123 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供的一种电子束准直装置及电子束准直系统，其中，一种电子束准直装置，包括准直模块，该准直模块包括叠在一起的三层外尔半金属薄膜，三层外尔半金属薄膜中位于两侧的两层外尔半金属薄膜为相同的薄膜，且位于中间的外尔半金属薄膜与位于两侧的外尔半金属薄膜的外尔节点能量不同，以由垂直外尔半金属薄膜射入准直模块且能量在预设能量范围内的电子中获取横向动量在预设动量范围内的电子并射出。由此，由垂直外尔半金属薄膜射入的电子中获取到横向动量在预设动量范围内的电子，进而将其射出，其中，预设动量范围为0或者接近于0的范围，因此，射出电子不会在横向动量的影响下偏移原来的轨道运动，准直效果较佳。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子束 装置 系统 | ||
【主权项】：
1.一种电子束准直装置，其特征在于，包括准直模块，该准直模块包括叠在一起的三层外尔半金属薄膜，所述三层外尔半金属薄膜中位于两侧的两层外尔半金属薄膜为相同的薄膜，且位于中间的外尔半金属薄膜与位于两侧的外尔半金属薄膜的外尔节点能量不同，以由垂直所述外尔半金属薄膜射入所述准直模块且能量在预设能量范围内的电子中获取横向动量在预设动量范围内的电子并射出。
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