[发明专利]键合加热控制装置及其方法

摘要

本发明提供了一种键合加热控制装置及其方法，其装置包括加热控制器以及两个加热装置与两个加热驱动装置；加热装置用于对硅片或玻璃片进行加热加压，加热装置中设置有加热器及至少两个温度传感器；加热控制器用于实现对两个加热装置中各温度传感器的测量，输出加热器的PWM开度；加热驱动装置根据所述加热控制器输出的PWM开度，驱动加热器工作；两个加热装置同时工作而又相互独立，节省了加热时间，提高了加热效率，并且在加热盘的上下两侧分别设置石墨片，使得温度均匀传播，同时将加热过程分为三个阶段，通过速率加热阶段的快速加热，缩短加热时间，提高产率；并且实现加热速率阶段功率可调，为键合工艺提供了更多工艺参数。

主权项

一种键合加热控制装置，其特征在于，包括加热控制器以及两个加热装置与两个加热驱动装置；所述加热装置用于对硅片或玻璃片进行加热加压，所述加热装置中设置有加热器及至少两个温度传感器；所述加热控制器用于实现对所述两个加热装置中各温度传感器的测量，分别输出加热器的PWM开度；所述加热驱动装置根据所述加热控制器输出的PWM开度，驱动所述加热器工作。