[发明专利]成膜装置及成膜装置的分隔壁构造体

摘要

本发明提供一种成膜装置及成膜装置的分隔壁构造体，本发明的分隔壁构造体在成膜装置的腔室的内部形成至少1个成膜区。分隔壁构造体具备周向限制部和一对分隔壁。周向限制部与分隔壁相连，使得该周向限制部与分隔壁的相对位置被固定。分隔壁的内侧面在分隔壁被安装于腔室时与成膜辊的外周面隔开间隙地对置。周向限制部形成面向成膜辊外周面的成膜区。本发明的成膜装置具备一对分隔壁，前述一对分隔壁被固定于腔室，在成膜辊的宽度方向的两侧配置于在与该成膜辊之间隔开间隙的位置，分隔壁具有朝向成膜辊的径向外侧的外侧面和朝向成膜辊的径向内侧的内侧面，掩模安装在分隔壁的外侧面上，分隔壁的内侧面位于比成膜辊的外周面更靠成膜辊的径向内侧的位置。

主权项

1.一种分隔壁构造体，前述分隔壁构造体是成膜装置的分隔壁构造体，前述成膜装置在腔室内部在沿着成膜辊的外周面被输送的带状的基材的表面使用气体连续地进行成膜，前述分隔壁构造体在该腔室的内部形成至少1个成膜区，其特征在于，具备周向限制部和一对分隔壁，前述一对分隔壁具有能够安装于前述腔室的形状，并具有内周面，前述内周面在该一对分隔壁被安装于前述腔室时，在前述成膜辊的宽度方向的两侧与该成膜辊的外周面隔开间隙地对置，前述周向限制部在前述腔室内部形成面向前述成膜辊的前述外周面的至少1个成膜区，前述周向限制部与前述分隔壁相连，使得该周向限制部与前述分隔壁的相对位置被固定。