[发明专利]一种窄带隙的Sb2S3半导体薄膜的水热制备方法有效
申请号: | 201610190103.8 | 申请日: | 2016-03-30 |
公开(公告)号: | CN105762207B | 公开(公告)日: | 2017-11-03 |
发明(设计)人: | 王峰;刘萌;贡永帅;李志林;窦美玲;刘景军;吉静 | 申请(专利权)人: | 北京化工大学 |
主分类号: | H01L31/032 | 分类号: | H01L31/032;H01L31/18 |
代理公司: | 北京五月天专利商标代理有限公司11294 | 代理人: | 王天桂 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种窄带隙的Sb2S3半导体薄膜的水热制备方法,溶液中含有摩尔比为10(9‑80)的酒石酸锑钾和硫代硫酸钠,溶液的pH值介于4‑4.5之间,溶液经搅拌超声后用水热法在ITO玻璃基底上直接制备出了附着力良好的Sb2S3薄膜,然后在惰性气氛保护条件下于250ºC‑550ºC下恒温,得到窄带隙Sb2S3半导体薄膜。本发明提供的方法中新型镀液对环境友好,直接在ITO玻璃基底上制备出来了Sb2S3半导体薄膜,并且其带隙较窄,适合作为薄膜太阳能电池的吸收层材料。 | ||
搜索关键词: | 一种 窄带 sb sub 半导体 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种窄带隙Sb2S3半导体薄膜的水热制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)配制溶液:在溶液中加入硫源和锑源,其中Sb3+和S2O32‑的摩尔比为10:(9‑80)的,溶液的pH值介于4‑4.5之间;(2)在步骤(1)配制好的溶液经搅拌超声后,用水热法在ITO玻璃基底上直接制备Sb2S3半导体薄膜,水热温度控制在120‑210 °C,水热时间控制在1‑12 h;(3)将步骤(2)制备出的Sb2S3薄膜,置于惰性气氛保护条件下,于250‑550 °C下恒温退火;步骤(1)所述的锑源为酒石酸锑钾,所述硫源为硫代硫酸钠;步骤(3)所得Sb2S3薄膜的带隙在1.63‑1.73 eV之间。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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