[发明专利]倒装白光芯片的制备工艺在审
申请号: | 201610141543.4 | 申请日: | 2016-03-11 |
公开(公告)号: | CN105655261A | 公开(公告)日: | 2016-06-08 |
发明(设计)人: | 董翊 | 申请(专利权)人: | 导装光电科技(深圳)有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L33/52 |
代理公司: | 深圳市明日今典知识产权代理事务所(普通合伙) 44343 | 代理人: | 王杰辉 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙华新*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提出一种倒装白光芯片的制备工艺,包括:将UV胶片放置于支撑平台上,并将倒装芯片的底部紧密粘在所述UV胶片上;将混合好的荧光粉以及硅胶涂敷在倒装芯片的四侧以及顶部,形成荧光粉以及硅胶层;并将涂敷好的倒装芯片放入真空室内进行真空脱泡;之后,将所述倒装芯片从真空室内取出,并根据设定的荧光粉以及硅胶层高度,均匀刮涂所述倒装芯片顶部多余的荧光粉以及硅胶;对涂布成型后的倒装芯片进行加热固化;高温固化完成后,再依次进行切割以及UV光照脱膜,得到倒装白光芯片成品。本发明中提供的倒装白光芯片的制备工艺,简单高效,无需昂贵复杂的设备,可连续大规模生产,降低生产成本。 | ||
搜索关键词: | 倒装 白光 芯片 制备 工艺 | ||
【主权项】:
一种倒装白光芯片的制备工艺,其特征在于,包括以下步骤:翻晶,将UV胶片放置于支撑平台上,并将倒装芯片的底部紧密粘在所述UV胶片上;真空脱泡,将混合好的荧光粉以及硅胶涂敷在倒装芯片的四侧以及顶部,形成荧光粉以及硅胶层;并将涂敷好的倒装芯片放入真空室内进行真空脱泡;涂布成型,真空脱泡完成后,将所述倒装芯片从真空室内取出,并根据设定的荧光粉以及硅胶层高度,均匀刮涂所述倒装芯片顶部多余的荧光粉以及硅胶;高温固化,对涂布成型后的倒装芯片进行加热,使荧光粉以及硅胶层固化封装所述倒装芯片的顶部以及四侧;切割,高温固化完成后,沿各个倒装芯片之间的间隙切割;UV光照脱膜,去除所述支撑平台,使用UV光照射所述UV胶片使其失去粘性,去除失去粘性后的UV胶片,得到倒装白光芯片成品。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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