[发明专利]一种MEMS振动能量收集与存储的单片集成装置及其制备方法有效
| 申请号： | 201610128768.6 | 申请日： | 2016-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN107170959B | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 黄晓东;甘兴锋;黄见秋;黄庆安 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | H01M4/134 | 分类号： | H01M4/134;H01M10/0525;H01M10/0585;H01L41/113;H01L41/22;B81B7/02 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 吴旭 |
| 地址： | 214135 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS振动能量收集与存储的单片集成装置及其制备方法。本发明采用堆叠的方式实现能量收集器件与锂离子电池的单片集成，结构简单紧凑，利于实现传感器节点的微型化、集成化并提高能源利用效率。此外，本发明中基于MEMS悬臂梁结构的堆叠方式，既实现了能量收集器件对振动能量的有效收集，还有助于释放和减小锂离子电池充放电时产生的应力，不但提高了器件的集成度还增强了器件可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 振动 能量 收集 存储 单片 集成 装置 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS振动能量收集与存储的单片集成装置，其特征在于：包括基底（1），所述基底（1）为L型悬臂梁结构，分为横向自由面和纵向支撑部；在所述基底（1）上从下向上依次设置下绝缘层（2）、正极集流体层（31）、正极层（32）、固态电解质层（33）、硅负极层（34）、负极集流体层（35）、上绝缘层（4）、下压电电极层（51）、压电层（52）、上压电电极层（53）；其中，所述硅负极层（34）正对基底（1）的横向自由面设置，基底（1）的纵向支撑部正对位置没有设置硅负极层，所述硅负极层（34）为厚度100 ‑ 3000 nm的硅；其中，所述正极集流体层（31）、正极层（32）、固态电解质层（33）、硅负极层（34）、负极集流体层（35）构成固态锂离子电池，所述下压电电极层（51）、压电层（52）、上压电电极层（53）构成压电式振动能量收集器，所述固态锂离子电池通过充电电路连接压电式振动能量收集器。
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