[发明专利]一种微纳结构的制作装置及方法

摘要

本发明公开了一种微纳结构的制作装置及方法，它包括直线步进电机(1)、移动平台(2)、可移动挡板(3)、挡板支架(4)、底座(5)、电气控制装置(6)，其方法，是先将载物固定在移动平台(2)上，然后向在未被遮挡载物的表面沉积第一种材料；利用电气控制装置(6)控制直线步进电机(1)带动装在移动平台(2)上的载物向未被遮挡的方向位移，然后再向在未被遮挡的，未沉积的载物表面上沉积第二种材料；取下移动平台(2)的载物，对第一种材料进行剥离处理，剥离后制得微纳结构。本发明能够在载物表面上的指定区域引入材料，提高原材料利用率，无需模板、低成本制作、流程简单、速度快，使得微米结构、纳米结构、纳米电路等结构或器件的复杂成型变得更加简易、精确。

主权项

一种微纳结构的制作装置，其特征在于，该装置包括直线步进电机(1)、移动平台(2)、可移动挡板(3)、挡板支架(4)、底座(5)、电气控制装置(6)，其中，直线步进电机(1)固定于底座(5)上，直线步进电机(1)的螺母与移动平台(2)上的螺杆螺纹连接，可移动挡板(3)安装在挡板支架(4)上方，挡板支架(4)与底座(5)固定连接，电气控制装置(6)与直线步进电机(1)连接。