[发明专利]一种微纳结构的制作装置及方法

权利要求书

1.一种微纳结构的制作装置，其特征在于，该装置包括直线步进电机(1)、移动平台(2)、可移动挡板(3)、挡板支架(4)、底座(5)、电气控制装置(6)，其中，直线步进电机(1)固定于底座(5)上，直线步进电机(1)的螺母与移动平台(2)上的螺杆螺纹连接，可移动挡板(3)安装在挡板支架(4)上方，挡板支架(4)与底座(5)固定连接，电气控制装置(6)与直线步进电机(1)连接。

2.根据权利要求1所述的一种微纳结构的制作装置，其特征在于，所述的直线步进电机(1)的螺母与动移动平台(2)上的螺杆螺纹连接，采用螺杆和螺母相啮合，将直线步进电机(1)旋转转动转变为移动平台(2)的直线移动，实现移动平台(2)微米级的直线移动。

3.根据权利要求2所述的一种微纳结构的制作装置，其特征在于，所述的电气控制装置(6)由电源、逻辑程序器、开关元件以及变频脉冲源组成，该装置用于控制直线步进电机(1)转动，实现移动平台2的直线微动。

4.根据权利要求3所述的一种微纳结构的制作装置对应的成型方法，其特征在于，先将载物固定在移动平台(2)上，根据载物厚度调整可移动挡板(3)的高度，使可移动挡板(3)遮挡载物的部分表面；然后向在未被遮挡载物的表面沉积第一种材料；利用电气控制装置(6)控制直线步进电机(1)带动装在移动平台(2)上的载物向未被遮挡的方向位移，然后再向在未被遮挡的，未沉积的载物表面上沉积第二种材料；取下移动平台(2)的载物，对第一种材料进行剥离处理，剥离后制得微纳结构。

5.根据权利要求4所述的一种微纳结构的制造装置对应的成型方法，其特征在于，所述的沉积第一种材料或第二种材料是金、银、钛或铝中的一种。

6.根据权利要求5所述的一种微纳结构的制造装置对应的成型方法，其特征在于，所述的对载物上的第二种材料的剥离处理包括超声、浸泡或者在酸中腐蚀分离。