[发明专利]蚀刻剂组合物和利用它形成金属图案的方法在审
| 申请号： | 201610090986.5 | 申请日： | 2016-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN105970227A | 公开（公告）日： | 2016-09-28 |
| 发明（设计）人： | 李智娟;李恩远;金童基;崔容硕 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/44 | 分类号： | C23F1/44;C23F1/26;C23F1/20;H01L21/3213 |
| 代理公司： | 北京度衡知识产权代理有限公司 11601 | 代理人： | 钟锦舜 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了蚀刻剂组合物和利用它形成金属图案的方法，所述蚀刻剂组合物包含磷酸、硝酸、乙酸、硫酸和水以便蚀刻包含铝合金和钼合金的多层。所述蚀刻剂组合物能够一步蚀刻被构造成顺序形成钼合金层、铝合金层、钼合金层和钼合金氧化物层的多层，并可防止光刻胶破裂和尖端形成。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 组合 利用 形成 金属 图案 方法 | ||
【主权项】：
用于蚀刻多层的蚀刻剂组合物，其包含：50至70wt％的磷酸、6至8wt％的硝酸、5至25wt％的乙酸、2至4wt％的硫酸、和余量的水，其中包含的硝酸和硫酸的含量比为1.5至2.5:1，并且所述多层被构造成顺序形成钼合金层、铝合金层、钼合金层和钼合金氧化物层。
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