[发明专利]模具、压印设备和制造物品的方法有效
| 申请号： | 201610083908.2 | 申请日： | 2016-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN105892230B | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | B-J·乔;M·加纳帕蒂苏布拉玛尼安;村里直记;宫岛义一 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 11038 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 林振波 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及模具、压印设备和制造物品的方法。一种模具，包括：图案部，图案部中形成有图案；以及凹部，形成在图案部的背面中，并且在平面图中具有的尺寸能够包容图案部，其中，图案部的边缘在平面图中为矩形形状，以及凹部包括沿着图案部矩形形状侧面的侧壁部。 | ||
| 搜索关键词： | 模具 压印 设备 制造 物品 方法 | ||
【主权项】：
1.一种模具，具有图案并配置成把图案转印到压印材料上，模具包括：/n图案部，图案部中形成有要转印到压印材料上的图案；以及/n凹部，形成在形成有图案部的表面的相反侧中，并且在平面图中具有的尺寸能够包容图案部，/n其中，图案部的外边缘在平面图中为矩形形状，/n凹部包括：/n在平面图中沿着图案部矩形形状各侧面的各第一侧壁部，/n在平面图中沿着图案部矩形形状各侧面的各第二侧壁部，各第二侧壁部布置在各第一侧壁部内侧，和/n第一刚性部，处于凹部的底面上，在平面图中形成在各第一侧壁部和各第二侧壁部之间，/n其中，各第二侧壁部形成在第一刚性部的台阶上，并且/n第一刚性部比平面图中图案部矩形形状拐角外侧的部分厚。/n
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