[发明专利]对准方法

摘要

本发明提供对准方法，可抑制生产效率的降低。包括：存储步骤，对通过卡盘台(10)保持的第1被加工物(11a)进行摄像，存储对应于第1分割预定线(13b)的对准标志(17c)的位置和第1分割预定线相对于对准标志的位置关系；保持步骤，通过卡盘台保持第2被加工物(11b)；检测步骤，对在存储步骤中存储的对准标志的位置进行摄像来检测第2被加工物的对准标志；以及确定步骤，根据检测出的第2被加工物的对准标志的位置和在存储步骤中存储的位置关系，确定第2被加工物的第1分割预定线的位置，在检测步骤中，不能在存储步骤中存储的对准标志的位置处检测出第2被加工物的对准标志的情况下，检测相邻的另外的该对准标志(17d)。

主权项

一种对准方法，对被加工物上的与各区域对应配置的对准标志进行检测，确定多条第1分割预定线的位置，其中，该被加工物在由多条该第1分割预定线和与该第1分割预定线交叉的多条第2分割预定线划分出的该各区域上形成有器件，该对准方法的特征在于，包括：存储步骤，对通过卡盘台保持的第1被加工物进行摄像，存储与该第1分割预定线对应的该对准标志的位置和该第1分割预定线相对于该对准标志的位置关系；保持步骤，在实施了该存储步骤后，通过该卡盘台保持与第1被加工物对应的第2被加工物；检测步骤，在实施了该保持步骤后，对在该存储步骤中存储的该对准标志的位置进行摄像来检测第2被加工物的该对准标志；以及确定步骤，在实施了该检测步骤后，根据检测出的第2被加工物的该对准标志的位置和在该存储步骤中存储的该第1分割预定线相对于该对准标志的位置关系，确定第2被加工物的该第1分割预定线的位置，在该检测步骤中，不能在该存储步骤中存储的该对准标志的位置处检测出第2被加工物的该对准标志的情况下，检测沿着该第1分割预定线的延伸方向在第2被加工物的中央侧相邻的另外的该对准标志。