[发明专利]硬掩模组合物和使用所述硬掩模组合物形成图案的方法有效
| 申请号： | 201610028493.9 | 申请日： | 2016-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN106054533B | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 申铉振;金尚元;薛珉洙;朴晟准;赵连柱 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/09 | 分类号： | G03F7/09;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 金拟粲 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及硬掩模组合物和使用所述硬掩模组合物形成图案的方法。硬掩模组合物可包括具有在约5nm‑约100nm范围内的尺寸的石墨烯纳米颗粒和溶剂。 | ||
| 搜索关键词： | 模组 使用 述硬掩 形成 图案 方法 | ||
【主权项】：
硬掩模组合物，其包括：具有在5nm‑100nm范围内的尺寸的多个石墨烯纳米颗粒；和溶剂。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星电子株式会社，未经三星电子株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610028493.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种打磨的磨刀刷
- 下一篇：磨刀座及应用其的磨刀器
