[发明专利]外观检查装置及外观检查方法有效
| 申请号： | 201580078072.0 | 申请日： | 2015-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN107429991B | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 田端伸章 | 申请（专利权）人： | 雅马哈发动机株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25;G01N21/956;H05K13/08 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 穆德骏;谢丽娜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 倾斜相机(31b)～(31e)相对于基板(10)的表面(10a)的法线方向(铅垂方向Z)倾斜地配置，适用于捕捉存在于基板(10)的表面(10a)上的焊料(91)、(92)的侧面(图7)。而且，基于通过倾斜相机(31b)～(31e)拍摄对基板(10)设定的计测区域R(I)而得到的计测区域R(I)，对计测区域R(I)的三维形状Dt(I)进行计测。因此，即使是计测区域R(I)以包含存在于基板(10)上的焊料(91)、(92)的侧面(91a)、(92a)的方式设定的情况下，也能够准确地计测焊料(91)、(92)的侧面(91a)、(92a)的三维形状Dt(I)。 | ||
| 搜索关键词： | 外观 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种外观检查装置，具备：基板保持部，对基板进行保持；投影机，向保持于所述基板保持部的所述基板照射光；倾斜相机，相对于保持于所述基板保持部的所述基板的表面的法线方向倾斜地配置；及控制部，基于从所述投影机向对所述基板设定的计测区域照射光并通过所述倾斜相机拍摄所述计测区域而得到的拍摄图像，对所述计测区域的三维形状进行计测。
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