[发明专利]打印彩色图像的方法有效
申请号: | 201580076621.0 | 申请日: | 2015-12-18 |
公开(公告)号: | CN107533285B | 公开(公告)日: | 2021-02-05 |
发明(设计)人: | H.H.索拉克;C.戴斯;F.克鲁贝 | 申请(专利权)人: | 尤利塔股份公司 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00;G03F7/40;G03F7/20;G02B5/20;G02B5/00;G02B5/18 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 徐红燕;杜荔南 |
地址: | 瑞士卡*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种形成通过等离子体共振生成具有颜色的分布的期望图像的金属纳米特征的图案的方法,该方法包括:提供具有感光材料层的基底;将该层曝光于剂量分布的高分辨率周期性图案;确定剂量分布的至少一个低分辨率图案,以使得剂量分布的至少一个低分辨率图案和剂量分布的高分辨率周期性图案的总和适用于形成金属纳米特征的图案,其中所述金属纳米特征的横向维度具有跨图案的与期望图像中的颜色分布相对应的空间变化;将感光材料层曝光于剂量分布的所述至少一个低分辨率图案;显影感光材料层以在显影的感光材料中产生纳米结构的图案;处理纳米结构的图案,以使得金属纳米特征的图案被形成为具有与期望图像中的颜色分布相对应的跨图案的横向维度的所述空间变化。 | ||
搜索关键词: | 打印 彩色 图像 方法 | ||
【主权项】:
一种用于形成金属纳米特征的图案的方法,该图案通过等离子体共振生成具有颜色分布的期望图像,该方法包括:a)提供具有感光材料层的基底;b)将该层曝光于剂量分布的高分辨率周期性图案;c)确定剂量分布的至少一个低分辨率图案,以使得剂量分布的至少一个低分辨率图案和剂量分布的高分辨率周期性图案的总和适用于形成金属纳米特征的图案,其中所述金属纳米特征的横向维度具有跨图案的与期望图像中的颜色分布相对应的空间变化;d)将感光材料层曝光于剂量分布的所述至少一个低分辨率图案;e)显影感光材料层以在显影的感光材料中产生纳米结构的图案;f)处理纳米结构的图案,以使得金属纳米特征的图案被形成为具有与期望图像中的颜色分布相对应的跨图案的横向维度的所述空间变化。
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