[发明专利]可光图案化组合物及使用其制造晶体管器件的方法有效
| 申请号： | 201580065194.6 | 申请日： | 2015-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN107003608B | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 郑焱;胡雁;赵薇;A·菲奇提 | 申请（专利权）人： | 飞利斯有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/025 | 分类号： | G03F7/025;G03F7/027;G03F7/038;G03F7/075;G03F7/40 |
| 代理公司： | 北京邦信阳专利商标代理有限公司 11012 | 代理人： | 尹吉伟 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本教导涉及用于形成负型可光图案化介电材料的组合物，其中所述组合物，在其他组分中，尤其包括一种有机填料和一种或多种光活性化合物，且其中所述有机填料的存在使得能够(在固化步骤后，以及在显影步骤期间或显影步骤后)有效移除如果允许残留于所述光图案化介电材料中将对其介电性能产生有害效果的这样的光活性化合物。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 组合 使用 制造 晶体管 器件 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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