[发明专利]压电模块有效
申请号: | 201580052453.1 | 申请日: | 2015-10-22 |
公开(公告)号: | CN106716827B | 公开(公告)日: | 2020-06-19 |
发明(设计)人: | 岸本谕卓;伊田康之;小林英晃 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H03H9/25 | 分类号: | H03H9/25;H03H9/02;H03H9/17 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 韩聪 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 压电模块(10)具备压电薄膜(20)、固定层(30)以及支承基板(40)。压电薄膜(20)通过固定层(30)支承在支承基板(40)。在压电薄膜(20)的表面形成有功能导体(211、212)。在固定层(30)形成有空隙(300),使得包括与功能导体(211、212)重叠的区域。在支承基板(40)的固定层(30)侧的面,在空隙(300)的区域内形成有构成电路元件的导体图案(50)。 | ||
搜索关键词: | 压电 模块 | ||
【主权项】:
一种压电模块,具备:压电薄膜,形成有功能导体;支承基板;固定层,将所述压电薄膜固定在所述支承基板;以及电路元件,配置在所述压电薄膜与所述支承基板之间。
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