[发明专利]柔性铜布线板的制造方法及其所用的带支撑膜的柔性覆铜层叠板有效
| 申请号： | 201580043280.7 | 申请日： | 2015-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN106576428B | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 猪狩敦 | 申请（专利权）人： | 住友金属矿山株式会社 |
| 主分类号： | H05K3/06 | 分类号： | H05K3/06;B32B15/08;B32B15/088;B32B15/09;C09J5/00;C09J7/20 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 李英艳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 由柔性覆铜层叠板以良好的精度制造用于覆晶薄膜(COF)、柔性印刷布线板(FPC)等的柔性铜布线板。具备：在树脂膜的一面层叠铜的工序，在树脂膜的另一面上，通过粘合层层叠作为支撑膜的双轴延伸膜的工序，蚀刻铜而形成铜布线的工序，加热带支撑膜的柔性覆铜层叠板的加热工序，以及，剥离支撑膜的剥离工序；作为支撑膜，使用双轴延伸膜的各延伸方向上的150℃×30分钟后的热收缩率分别为0.1％以下的薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 布线 制造 方法 及其 所用 支撑 层叠 | ||
【主权项】：
1.一种柔性铜布线板的制造方法，其中，在树脂膜的一面形成有铜布线，所述柔性铜布线板的制造方法具备：柔性覆铜层叠板形成工序，该工序在所述树脂膜的一面层叠铜，带支撑膜的柔性覆铜层叠板形成工序，该工序在所述树脂膜的另一面上，通过粘合层层叠作为支撑膜的双轴延伸膜，得到带支撑膜的柔性覆铜层叠板，铜布线形成工序，该工序蚀刻所述铜而形成所述铜布线，加热工序，该工序加热所述带支撑膜的柔性覆铜层叠板，剥离工序，该工序剥离所述支撑膜，以及，尺寸变化预测工序，该工序测定所述带支撑膜的柔性覆铜层叠板在规定条件下的尺寸变化的实测值，将所述实测值作为通过该制造方法获得的柔性铜布线板的尺寸变化的预测值，并且，作为所述支撑膜，使用各延伸方向上的150℃×30分钟后的热收缩率分别为0.1％以下的所述双轴延伸膜。
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