[发明专利]用于可变的基板厚度的外部翻转器系统以及用于旋转基板的方法

摘要

一种分发器包括框架、构台系统、分发单元、基板支撑组件、输运系统和翻转器系统，所述翻转器系统被连接到所述框架并且与所述输运系统连通。所述翻转器系统被安置在所述基板支撑组件外面并且被配置以使基板取向在第一位置和第二位置之间旋转，在所述第一位置中，所述基板的所述上表面处于分发位置中，在所述第二位置中，所述基板的所述下表面处于分发位置中。所述翻转器系统包括被配置以接合所述基板的一个边缘的第一从动组件和被配置以接合所述基板的相对边缘的第二从动组件。所述第一从动组件和所述第二从动组件被配置以驱动所述基板的直线移动。

主权项

一种用于在具有上表面和下表面的基底上分发黏性材料的分发器，所述分发器包括：框架；构台系统，所述构台系统被结合到所述框架；分发单元，所述分发单元被结合到所述构台系统，所述构台系统被配置以使所述分发单元在x轴、y轴和z轴方向上移动；基底支撑组件，所述基底支撑组件被结合到所述框架并且被配置以将所述基底支撑在分发位置中，从而在所述基底的所述上表面上并且在所述基底的所述下表面上分发材料；输运系统，所述输运系统被结合到所述框架并且被配置以将基底输运进入和离开所述基底支撑组件；以及翻转器系统，所述翻转器系统被结合到所述框架并且与所述输运系统连通，所述翻转器系统被安置在所述基底支撑组件外面并且被配置以使基底取向在第一位置和第二位置之间旋转，在所述第一位置中所述基底的所述上表面面朝上，在所述第二位置中所述基底的所述下表面面朝上，所述翻转器系统包括被配置以接合所述基底的一个边缘的第一驱动组件和被配置以接合所述基底的相对的边缘的第二驱动组件，所述第一驱动组件和所述第二驱动组件被配置以驱动所述基底的线性移动。