[发明专利]载体的临时保管装置以及保管方法有效
申请号: | 201580032174.9 | 申请日: | 2015-04-30 |
公开(公告)号: | CN106463443B | 公开(公告)日: | 2019-09-24 |
发明(设计)人: | 高井要 | 申请(专利权)人: | 村田机械株式会社 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 舒艳君;田军锋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供载体的临时保管装置以及保管方法。即便在高架行走车产生故障、且无法进行高架行走车与控制器的通信的状态下,也能够防止高架行走车与现地台车的干涉。在高架行走车与装载口之间临时保管载体。沿着高架行走车的行走导轨的下方且在装载口的正上方部的现地台车的行走导轨使现地台车行走,并且设置多个缓冲区。高架行走车与上述现地台车经由终端与控制器自由进行通信,将检测高架行走车的起重机的构成要素以及升降中的载体的传感器设置于不与现地台车发生干涉的高度,当传感器检测到起重机的构成要素或者载体时,限制上述现地台车的行走。 | ||
搜索关键词: | 载体 临时 保管 装置 以及 方法 | ||
【主权项】:
1.一种临时保管装置,在沿着行走导轨行走且具备使载体升降的起重机的高架行走车与处理装置的装载口之间临时保管载体,其中,在所述临时保管装置设置有:现地台车,其具备使载体升降的起重机,且行走自如;现地台车的行走导轨,其设置在高架行走车的行走导轨的下方,且设置在装载口的正上方部;多个缓冲区,该多个缓冲区沿着所述现地台车的行走导轨设置,且在所述多个缓冲区,高架行走车与所述现地台车均自由地载置载体;控制器,其对所述现地台车进行控制;以及传感器,其设置在不与所述现地台车发生干涉的高度,且对高架行走车的起重机的构成要素以及利用起重机进行升降中的载体进行检测,所述控制器通过与高架行走车的通信避免高架行走车与现地台车的干涉,并且,所述控制器构成为,当所述传感器检测到起重机的构成要素或者载体时,限制所述现地台车的行走。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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