[发明专利]用于真空腔的封闭装置有效
| 申请号： | 201580030603.9 | 申请日： | 2015-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN106461120B | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | U·奥尔登多夫;C·克莱森 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | F16K51/02 | 分类号： | F16K51/02;F16K3/18 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 陈红 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于真空腔(12)的封闭装置或闸门装置，具有：‑一个可布置在真空腔(12)上、并包围所述真空腔(12)一个开口(14)的护板(16)；‑‑一个相对于所述护板(16)可运动地设置的封闭盖(18)，所述封闭盖在闭合位置(28)在所述护板(16)上封闭所述开口(14)；‑‑至少一个与所述护板(16)和所述封闭盖(18)配合的、可调节的磁体装置(30)，其用于产生在护板(16)与封闭盖(18)之间起作用的闭合力(S)；以及‑‑至少一个间距测量装置(40)，其用于测量封闭盖(18)与护板(16)之间的间距(41)，‑‑其中所述磁体装置(30)可依据由所述间距测量装置(40)测量到的、护板(16)与封闭盖(18)之间的间距(41)作调节。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 空腔 封闭 装置 闸门 | ||
【主权项】：
1.用于真空腔(12)的封闭装置，具有：‑一个可布置在真空腔(12)上、并包围所述真空腔(12)的一个开口(14)的护板(16)；‑一个相对于所述护板(16)可运动地设置的封闭盖(18)，所述封闭盖在闭合位置(28)在所述护板(16)上封闭所述开口(14)；‑与所述护板(16)和所述封闭盖(18)配合的、可调节的至少一个磁体装置(30)，其用于产生在护板(16)与封闭盖(18)之间起作用的闭合力(S)；以及‑至少一个间距测量装置(40)，其用于测量封闭盖(18)与护板(16)之间的间距(41)，‑其中所述磁体装置(30)可依据护板(16)与封闭盖(18)之间的由所述间距测量装置(40)测量到的间距(41)而被调节。
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- 本实用新型公开了一种液位平衡自保护的真空装置，包括自吸管道、真空破坏阀、第一弹性球、浮球防晃动杆、浮球、浮球限位板、进口、脉动缓冲进液漏斗、过滤桶、安全浮球、浮球导杆、弹性球密封阀座、第二弹性球、上盖、上壳体、下壳体、左壳体和隔板。浮球防晃动杆用于防止浮球晃动；真空破坏阀能在真空低于设定值后打开；第一弹性球顶开后，自保护通气口吸气。本实用新型能够实现液位的平衡，在浮球以及第一弹性球、第二弹性球的配合下，实现真空破坏阀封闭和开启，从而完成真空抽吸。
- 一种先导式真空阀门-201710935458.X
- 张孝平 - 深圳市大成精密设备有限公司
- 2017-10-10 - 2018-01-12 - F16K51/02
- 本发明公开了一种先导式真空阀门，包括阀门本体、升降体、丝杆驱动机构；所述阀门本体包括阀门框体和阀门框体前后间隔设置的阀体立板；所述阀门本体中部设有真空板阀腔，所述升降体设于真空板阀腔内并与阀门本体滑动连接；所述升降体包括升降立板、板阀升降门、板阀开合机构，所述升降立板为一平直的安装板，其顶部连接丝杆驱动机构，其两侧分别对称设置有板阀升降门，板阀升降门之间设有板阀开合机构。本发明的一种先导式真空阀门，其利用单一动力实现间歇式的双阀门密封，采用自动压紧机构完成预开合导气孔的先闭先通；其性能稳定、节能高效。
- 一种真空阀-201720608009.X
- 许明;许泰玮;姚伟;潘中生;邵波;缪茗羽 - 无锡明治泵业有限公司
- 2017-05-26 - 2018-01-09 - F16K51/02
- 本实用新型公开一种真空阀，包括阀体，所述阀体上设置有安装件，所述安装件包括连接在阀体上的弹性连接部及安装在弹性连接部上的刚性支撑部，所述刚性支撑部上开有安装孔。所述一种真空阀的安装件由弹性连接部和刚性支撑部构成，弹性连接部的设置能够起到一定的减震作用，刚性支撑部的设置，大大提高了安装件的强度，避免安装时压溃，并有效延长了安装件的使用寿命。
- 一种紧凑的高真空阀门-201720183533.7
- 李志荣;冯晓廷 - 东莞市汇成真空科技有限公司
- 2017-02-27 - 2017-11-24 - F16K51/02
- 本实用新型公开了一种紧凑的高真空阀门，包括阀座、阀盖和阀盖控制系统，阀座具有水平开口和前竖开口，阀盖控制系统控制阀盖盖合在阀座的水平开口上或离开，实现高真空阀门的关闭与开启，阀盖控制系统包括气缸；其特征在于，气缸前端铰接在阀座的上壁，后端的活塞杆伸向阀座的后侧，阀盖控制系统还包括旋转连杆一、传动转轴、旋转连杆二，传动转轴横向转动安装在阀座的后侧阀壁上，旋转连杆一下端垂直固定在传动转轴上，上端与气缸后端的活塞杆铰接，旋转连杆二前端与阀盖顶部连接，后端伸向阀座的后侧，同样垂直固定在传动转轴上。本实用新型能大大降低大型高真空阀门的设计高度，从而解决竖式高真空阀门占有空间过高的问题。
- 一种抽气阀工装及其抽气密封方法-201710586657.4
- 张广林;乔永亮;于学文;李佳亮;魏新生 - 上海航天控制技术研究所
- 2017-07-18 - 2017-11-17 - F16K51/02
- 本发明公开了一种抽气阀工装，用于对飞轮进行抽气以及密封，其包含高真空挡板阀，包含阀体、阀板，阀板位于阀体内，阀体底部设有出口通道；转接套筒，位于高真空挡板阀下方，并与高真空挡板阀同轴连接，该转轴套筒内设有与高真空挡板阀阀体出口通道同轴并连通的接口通道，出口通道与接口通道构成转接通道；螺杆，设置在转接通道内，螺杆一端与高真空挡板阀内的阀板相抵；顶块，位于转接通道内并设置在螺杆另一端上，且顶块在螺杆上的位置可调节；压入式阀芯，用于对飞轮进行密封，与顶块底部推压接触。其优点是具有零件简单易得，价格便宜，整体结构简单轻巧，操作性好，同时避免了旋入式方案对密封橡胶圈造成的摩擦损伤，提高了密封可靠性。
- 一种密封性气阀装置-201710666320.4
- 叶常青 - 慈溪市美德工贸有限公司
- 2017-08-07 - 2017-11-03 - F16K51/02
- 本发明涉及一种密封性气阀装置，包括阀体和上盖，所述阀体呈圆台形且一端开有圆形凹槽，所述上盖开有向下延伸的通气腔，所述通气腔侧壁镶嵌在圆形凹槽中，所述通气腔的上端沿圆周方向设置有两段对称的向下突出的坡度台阶，所述圆形凹槽的底部开有通孔且通孔的下端设置有与通孔同轴的中心孔，所述阀体底部开有沿中心均匀分布的多个透气孔，所述通气腔内部布置有旋钮开关，所述旋钮开关包括圆盘和布置在圆盘上端的旋钮，所述旋钮前后两侧对称布置有凸台，所述圆盘下端设置有与圆盘活动连接的圆形垫片，所述圆形垫片下端设置有穿过通孔并限制在限位台阶下端的限位部。本发明具有结构简单，使用方便，保证长期的锁紧效果等特点。
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