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[实用新型]高真空高温加热炉可调节伸缩的热偶装置-CN202120019198.3有效
发明人：李璐 -专利权人： 沈阳科诚真空技术有限公司
申请日： 2021-01-06 - 公布日： 2021-09-21 - 主分类号： F27D21/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了高真空高温加热炉可调节伸缩的热偶装置，包括箱体，箱体下表面固定安装有支撑块，箱体的前表面固定安装有密封门，箱体的前表面开设有高温炉，箱体的前表面嵌设安装有控制板，控制板位于高温炉的下方，高温炉一侧的外表面开设有密封槽，密封门的前表面固定安装有卡块，密封门的后表面固定安装有密封铁块，箱体的前表面固定安装有卡门块，箱体的前表面固定安装有液压门，液压门位于高温炉的一侧，液压门的前表面固定安装有门把手。本实用新型的高真空高温加热炉可调节伸缩的热偶装置，能够将热偶装置进行自由伸缩，并能保证在伸缩时高温炉内的温差变化不大，从而防止在测温时空气的流入破坏了真空环境，且能够节约电能资源。
真空高温加热炉调节伸缩装置

[实用新型]一种可实现自动蒸镀的有机蒸发源装置-CN202120019197.9有效
发明人：李璐 -专利权人： 沈阳科诚真空技术有限公司
申请日： 2021-01-06 - 公布日： 2021-09-14 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可实现自动蒸镀的有机蒸发源装置，包括装置主体，所述装置主体内部底侧固定焊接安装有加热结构，所述加热结构上方固定焊接安装有镀膜结构，所述装置主体包括加厚外壳、固盖半环和密封盖，所述加热结构包括蒸发锅、有机膜料、规范滤网、密封环板、冷却管、加热电阻和通电电线，所述镀膜结构包括慢速电机、中空轴承、活动挡板、密封转轴、真空吸盘和工作区，所述冷却管从进管处进入加厚外壳内部，且从出管处通往外界。本实用新型所述的一种可实现自动蒸镀的有机蒸发源装置，能够实现自动蒸镀，且膜料更加细腻，镀层更加完美，极大地提高冷却效率，并对多余气态膜料进行回收减少浪费。
一种实现自动有机蒸发装置

[实用新型]一种高真空蒸发源挡板-CN201821027139.5有效
发明人：李璐 -专利权人： 沈阳科诚真空技术有限公司
申请日： 2018-07-02 - 公布日： 2019-03-22 - 主分类号： F16K51/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种高真空蒸发源挡板，涉及一种高真空设备技术领域。该实用新型包括气缸结构、连接结构和升降结构，升降结构包括升降定位板和升降定位杆，升降定位板包括第一升降定位板和第二升降定位板，升降定位杆包括第一升降定位杆、第二升降定位杆和第三升降定位杆，气缸结构包括气缸和输出轴，连接结构包括相连接的法兰结构和波纹管，法兰结构包括法兰压盖和法兰接管。本实用新型具有简洁，便捷，成本低廉，安全可靠，使用寿命长的优点。
升降定位杆升降定位板本实用新型蒸发源挡板法兰结构连接结构气缸结构升降结构高真空高真空设备法兰接管法兰压盖使用寿命波纹管输出轴气缸

[实用新型]一种高真空样品台随动挡板-CN201821027140.8有效
发明人：李璐 -专利权人： 沈阳科诚真空技术有限公司
申请日： 2018-07-02 - 公布日： 2019-03-22 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型提供一种高真空样品台随动挡板，涉及一种高真空设备技术领域。该实用新型包括样品拖挡板和立柱，立柱上端设置有电机支架、驱动机构和挡板，电机支架包括电机上固定板、电机下固定板和电机固定板支柱，电机固定板支柱包括第一电机固定板支柱、第二电机固定板支柱、第三电机固定板支柱和第四电机固定板支柱，驱动机构包括减速电机、联轴器、直接转轴、样品台转动方轴和挡板驱动轴。本实用新型结构简单，质量轻，成本低廉，并且能够较好的保护基片不受膜材予蒸发时的污染。
电机固定板挡板样品台本实用新型电机支架驱动机构高真空立柱随动电机高真空设备减速电机上固定板下固定板转动方轴上端联轴器驱动轴膜材转轴蒸发污染

[实用新型]一种带挡板的样品台-CN201721167439.9有效
发明人：李璐 -专利权人： 沈阳科诚真空技术有限公司
申请日： 2017-09-12 - 公布日： 2018-07-20 - 主分类号： B01L9/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种带挡板的样品台，其结构包括：移动轮、固定底座、装置壳体、主支架、活动挡板、新型滑动装置、钢化玻璃、置物板、安全锁、活动把手、固定挡板、滑动槽板、滑动块、固定连接柱，滑动块位于滑动槽板的内侧表面且与滑动槽板相配合，固定挡板位于滑动块前表面的下方且与滑动块为一体化结构，固定连接柱位于滑动块前表面的上方且与滑动块固定连接，滑动槽板与主支架的上表面固定连接，本实用新型一种带挡板的样品台增设上新型滑动装置后，可以达到使得在取出样品时能够将活动挡板收起防止工作人员在拿样品时不小心被绊到，从而导致展示样品的损坏的目的。
滑动块滑动槽板挡板固定连接柱固定挡板滑动装置活动挡板前表面样品台主支架钢化玻璃本实用新型一体化结构固定底座活动把手内侧表面装置壳体安全锁上表面移动轮置物板取出增设配合展示

[实用新型]一种真空多工位传递机械手-CN201721167438.4有效
发明人：李璐 -专利权人： 沈阳科诚真空技术有限公司
申请日： 2017-09-12 - 公布日： 2018-06-26 - 主分类号： B21D43/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空多工位传递机械手，其结构包括旋转板总成、送料杆总成、直线滑轨总成、内圆柱头连接件、步进电机、电机支杆、六角螺母、双密封转轴总成、旋转轴锁定螺母、内六角锥端紧定螺钉、连动杆、联动杆总成、联动肖、送料杆座、送内六角圆柱头螺钉、送料杆压盖、联动肖减磨垫圈、一号十字槽盘头螺钉、电机轮总成、二号十字槽盘头螺钉、一号同步荤、二号同步荤，旋转板总成设于送料杆总成右侧，本实用新型设有旋转板总成、送料杆总成、直线滑轨总成、内圆柱头连接件、步进电机、双密封转轴总成、旋转轴锁定螺母、内六角锥端紧定螺钉、连动杆、联动杆总成、电机轮总成，可以实现多工位机械手的真空传递，实用性高。
送料杆旋转板十字槽盘头螺钉螺母柱头连接件步进电机紧定螺钉直线滑轨转轴总成电机轮多工位联动杆连动杆双密封旋转轴角锥联动内圆锁定内六角圆柱头螺钉多工位机械手本实用新型电机支杆六角螺母真空传递机械手传递垫圈减磨压盖

[实用新型]一种高真空有机源-CN201620365541.9有效
发明人：李璐 -专利权人： 沈阳科诚真空技术有限公司
申请日： 2016-04-28 - 公布日： 2016-12-28 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种高真空有机源，适用于多中真空设备配套，属于有机源组件技术领域。该高真空有机源包括：铠装热偶、石英坩埚、坩埚垫块、电极法兰焊件、支撑杆、有机源组件，所述铠装热偶连接石英坩埚的底部，所述石英坩埚设置于坩埚垫块上，所述石英坩埚外部设有有机源组件，所述有机源组件通过支撑杆连接电极法兰焊件。本实用新型提出的一种高真空有机源，该有机源为集约型，简洁，质量轻，可均匀加热、可温控、误差低和成本低；有机源更换方便简洁，以模块更换，更换成本低廉；有机源采用低压铠装丝，安全可靠，并且洁净，整体有机源价格低廉。
一种真空有机

[实用新型]高真空多功能镀膜样品台-CN201521034429.9有效
发明人：李璐 -专利权人： 沈阳科诚真空技术有限公司
申请日： 2015-12-15 - 公布日： 2016-05-11 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜领域，尤其涉及高真空多功能镀膜样品台。该高真空多功能镀膜样品台包括：升降机构组件、旋转机构组件、滑动密封管焊件、挡板机构锁母、挂架机构组件、托架机构组件、挡板机构组件，所述滑动密封管焊件一侧设有升降机构组件，顶部设有旋转机构组件，底部设有挡板机构锁母，所述托架机构组件上方设有挡板机构锁母，下方设有挂架机构组件，所述托架机构组件上方设有托架机构组件，一侧设有挡板机构组件。本实用新型提供的高真空多功能镀膜样品台，为集约型，简洁，质量轻，成本低廉，可真空在线更换图形，可手动、可电动，并配有样品小挡板，加热采用光电加热，整洁、干净，温度误差小，亦可做成水冷式。
真空多功能镀膜样品

[实用新型]一种小型真空热处理设备-CN201521034477.8有效
发明人：李璐 -专利权人： 沈阳科诚真空技术有限公司
申请日： 2015-12-15 - 公布日： 2016-05-11 - 主分类号： C21D1/773 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空热处理设备，尤其涉及一种用于对粉末状金属材料进行热处理的小型真空热处理设备。本实用新型包括：炉体、底座、控制系统、真空热处理室、真空机组，所述炉体与底座一体设于底座上，所述炉体为球形内部中空形成真空热处理室，所述炉体顶部设有炉盖，所述炉盖一端与炉体铰接，另一端通过锁体固定，所述炉体一侧设有压力阀，另一侧设有压力表。本实用新型提供的一种小型真空热处理设备，专为粉末、颗粒、小块状材料热处理，一体式结构，结构简单，成本低，质量轻；以模块更换，更换方便简洁；采用铠装加热丝，安全可靠，并且洁净，整体价格低廉。
一种小型真空热处理设备

[实用新型]一种RF射频功率源-CN201521034476.3有效
发明人：李璐 -专利权人： 沈阳科诚真空技术有限公司
申请日： 2015-12-15 - 公布日： 2016-04-27 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种RF射频功率源，广泛地应用于科研、半导体工艺、真空镀膜、工业材料加工设备。本实用新型包括：机体、单片机、匹配器与射频源，所述机体侧面设有液晶显示屏，所述液晶显示屏旁设有参数设定按钮，所述单片机通过匹配器与射频源连接设于机体内部，所述射频源包括：有源石英晶体稳频、它激机与金属陶瓷四极管，所述金属陶瓷四极管为末级，所述有源石英晶体稳频、它激机均由单片机控制。本实用新型提出一种RF射频功率源，效率高，工作稳定可靠，匹配器与射频源功效溶为一体，提高了效率，缩小了体积，增加了美感。采用液晶显示屏与单片机应用控制，使本机提高了档次，是目前国内电子管射频源最先进的机型。
一种 rf 射频功率

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