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- [发明专利]用于真空腔室的闭合或锁定装置-CN201680072581.7有效
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U·奥尔登多夫;C·克莱森
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应用材料公司
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2016-12-02
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2021-05-11
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F16K51/02
- 本发明涉及了一种用于真空腔室(12)的闭合装置或锁定装置，所述闭合装置或锁定装置包括：护板(16)，所述护板能够布置在真空腔室(12)上并且包围真空腔室(12)的开口(14)；框架(15)，框架(15)以框架(15)可相对于护板(16)移动的方式而被支撑，并且闭合盖件(18)可移动地布置在框架(15)上，其中闭合盖件(18)在闭合位置(28)处抵靠护板(16)以密封的方式闭合开口(14)；至少一个磁体装置(30)，至少一个磁体装置(30)用于产生在护板(16)与闭合盖件(18)之间起作用的闭合力(C)，磁体装置(30)与护板(16)和闭合盖件(18)接合。
- 用于空腔闭合锁定装置
- [发明专利]用于托持、定位和移动物体的装置-CN201680020772.9有效
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C·克莱森;克里斯蒂安·埃曼
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应用材料公司
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2016-04-01
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2020-11-06
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H01L21/677
- 本发明涉及一种用于托持、定位和/或移动物体的装置，所述装置具有：‑基座(30)和具有相对于所述基座(30)移动的载体(50)，‑至少一个磁性轴承(10、100、200)，用于在所述基座(30)与所述载体(50)之间产生承载力或托持力(Hv、Hh)，其中经由所述磁性轴承(10、100、200)在所述基座(30)上无接触地支撑所述载体(50)，‑至少一个驱动器(40、140)，所述至少一个驱动器(40、140)无接触地作用于所述基座(30)与所述载体(50)之间，以在至少一个输送方向(T)上使所述载体(50)沿所述基座(30)位移，‑其中所述驱动器(40、140)包含具有至少一个滑块(41、141)和一个定子(43、143)的线性电动机(38)，将所述滑块和所述定子布置在所述基座(30)和所述载体(50)上，并且除了沿所述输送方向(T)作用的位移力(V)之外，所述滑块和所述定子被构造成在所述基座(30)与所述载体(50)之间产生反作用力(G)，所述反作用力抵消所述承载力或托持力(Hv、Hh)。
- 用于定位移动物体装置
- [发明专利]用于真空腔的封闭装置-CN201580030603.9有效
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U·奥尔登多夫;C·克莱森
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应用材料公司
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2015-06-10
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2019-05-07
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F16K51/02
- 本发明涉及一种用于真空腔(12)的封闭装置或闸门装置，具有：‑一个可布置在真空腔(12)上、并包围所述真空腔(12)一个开口(14)的护板(16)；‑‑一个相对于所述护板(16)可运动地设置的封闭盖(18)，所述封闭盖在闭合位置(28)在所述护板(16)上封闭所述开口(14)；‑‑至少一个与所述护板(16)和所述封闭盖(18)配合的、可调节的磁体装置(30)，其用于产生在护板(16)与封闭盖(18)之间起作用的闭合力(S)；以及‑‑至少一个间距测量装置(40)，其用于测量封闭盖(18)与护板(16)之间的间距(41)，‑‑其中所述磁体装置(30)可依据由所述间距测量装置(40)测量到的、护板(16)与封闭盖(18)之间的间距(41)作调节。
- 用于空腔封闭装置闸门
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