[发明专利]用于检查半导体晶片的X光检查设备在审
| 申请号： | 201580018574.4 | 申请日： | 2015-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN106164655A | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 约翰·廷吉;威廉·T·瓦尔克;凯特·斯图尔特 | 申请（专利权）人： | 诺信公司 |
| 主分类号： | G01N23/083 | 分类号： | G01N23/083;G01N23/04;G01N23/02 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 沈同全;车文 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种x光检查系统，包括：柜(110)，所述柜(110)包括x光源(100)、用于支撑将被检查的样品的样品支撑件(200)，以及x光检测器(300)；和鼓风机(130)，所述鼓风机被构造成迫使空气通过所述柜(100)内在所述样品支撑件(200)之上的空气进口(132)进入所述柜(100)，其中所述鼓风机(130)和所述柜(110)被构造成迫使来自所述空气进口(132)的空气经过所述样品支撑件(200)通过所述柜(110)，到达所述柜(110)内在所述样品支撑件(200)之下的空气出口(150)。所述柜(110)可以被构造成提供x光屏蔽件。能够在洁净室环境中使用这种类型的x光系统，以检查诸如半导体晶片(20)的物品。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检查 半导体 晶片 设备 | ||
【主权项】：
一种x光检查系统，包括：柜，所述柜包含x光源、用于支撑将被检查的样品的样品支撑件，以及x光检测器；和鼓风机，所述鼓风机被构造成迫使空气通过所述柜中的、所述样品支撑件上方的空气进口进入所述柜，其中所述鼓风机和柜被构造成迫使空气从所述空气进口经过所述样品支撑件通过所述柜到达所述柜中的、所述样品支撑件下方的空气出口。
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