[实用新型]蚀刻液循环再生处理系统有效
| 申请号： | 201520690821.2 | 申请日： | 2015-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN204898082U | 公开（公告）日： | 2015-12-23 |
| 发明（设计）人： | 张海波;薛雄师 | 申请（专利权）人： | 中山市鸿博化工助剂有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/46 | 分类号： | C23F1/46 |
| 代理公司： | 北京精金石专利代理事务所(普通合伙) 11470 | 代理人： | 刘晔 |
| 地址： | 528445 广东省中*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种蚀刻液循环再生处理系统，包括依次连接的蚀刻液槽，废液存储槽，预处理槽和分离槽，与分离槽连接的再生液槽和二次处理槽，与二次处理槽连接的电解槽，再生液槽连接蚀刻液槽，调配槽连接再生液槽，蚀刻液槽内设有浓度感应器并连接控制器，蚀刻液槽和废液存储槽之间设有抽送泵，控制器连接抽送泵，电解槽内间隔设有阳极板和阴极板。通过浓度感应器感应蚀刻液中铜离子的浓度，抽送泵和控制器来控制铜离子饱和的蚀刻液流入到废液存储槽，再利用预处理槽和二次处理槽以及电解槽进行处理电解回收铜，再生液槽及时调配补充到蚀刻液槽中继续进行蚀刻动作。如此循环装置，实现结构简单，效率高且成本低，有利于资源回收和循环利用。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 循环 再生 处理 系统 | ||
【主权项】：
一种蚀刻液循环再生处理系统，其特征在于：包括蚀刻液槽，与蚀刻液槽连接的废液存储槽，与废液存储槽连接的预处理槽，与预处理槽连接的分离槽，分别与分离槽连接的再生液槽和二次处理槽，与二次处理槽连接的电解槽，再生液槽连接蚀刻液槽，调配槽连接再生液槽，所述蚀刻液槽内设有浓度感应器，浓度感应器连接有控制器，蚀刻液槽和废液存储槽之间设有抽送泵，所述控制器连接抽送泵，所述电解槽内间隔设有阳极板和阴极板。
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