[实用新型]一种扩散硅片周转盒

摘要

本实用新型公开了一种扩散硅片周转盒，包括两个纵向侧板、两个横向侧板、底板和若干连接柱，在两个纵向侧板的底部均设置有条形的封闭槽A，在底板的横向两端各设有一个与封闭槽A对应的镶嵌条A，在纵向侧板长度方向的两端各设置有一个条形的封闭槽B，在横向侧板的两端各设置有一个与封闭槽B对应的镶嵌条B，在纵向侧板上阵列设置有若干螺纹孔，连接柱的两端通过螺纹与底板两侧的纵向侧板固定连接；本实用新型采用了可拆卸式的结构，方便了周转盒的清理与维护，同时本实用新型采用加工螺纹的连接柱的固定模式，拆卸也更加简易，降低了在一些细节处扩散硅片碎片的清理难度。

主权项

一种扩散硅片周转盒，其特征是：包括两个纵向侧板、两个横向侧板、底板和若干连接柱，在所述两个纵向侧板的底部均设置有条形的封闭槽A，在所述底板的横向两端各设有一个与所述封闭槽A对应的镶嵌条A，在所述纵向侧板长度方向的两端各设置有一个条形的封闭槽B，在所述横向侧板的两端各设置有一个与封闭槽B对应的镶嵌条B，在所述纵向侧板上阵列设置有若干螺纹孔，所述连接柱的两端通过螺纹与底板两侧的纵向侧板固定连接。