[实用新型]真空电弧离子镀膜阴极体两用的水冷装置有效
| 申请号： | 201520378415.2 | 申请日： | 2015-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN204727941U | 公开（公告）日： | 2015-10-28 |
| 发明（设计）人： | 白春阳;王俊波;边雪 | 申请（专利权）人： | 大连金泰表面工程科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 116600 辽宁省大*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型属于一种真空电孤离子镀膜阴极体两用的水冷装置，包括水冷装置壳体（14），其特征在于在水冷装置壳体（14）上设有水道（3）；在水冷装置壳体（14）上对称的焊接二个进出水口座（15），在进出水口座（15）上设有进出水口（5）与水道（3）连通；在水冷装置壳体（14）左端设有O型密封圈槽（4），中心设有M10螺孔（1）和M12螺孔（2），在M10螺孔（1）中用两端带螺纹的连接杆（9）连接阴极体一（7）和靶垫（8）；靶垫（8）上设有O型密封圈槽（4）；在水冷装置壳体（14）的圆周上对称的焊接两个绝缘壳体连接耳座（6），在绝缘壳体连接耳座（6）上用螺栓装有绝缘垫木挂钩（16）。该实用新型既可直接水冷，水垢不腐蚀阴极体，不堵水道；又可间接水冷，冷却效果好，适应不同阴极体的真空电孤离子镀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 电弧 离子 镀膜 阴极 两用 水冷 装置 | ||
【主权项】：
一种真空电弧离子镀膜阴极体两用的水冷装置，包括水冷装置壳体（14），其特征在于水冷装置壳体（14）上设有水道（3）；在水冷装置壳体（14）上对称的焊接两个进出水口座（15），在进出水口座（15）上设有进出水口（5），进出水口（5）与水道（3）连通；在水冷装置壳体（14）左端设有O型密封圈槽（4），水冷装置壳体（14）的中心设有M10螺孔（1）和M12螺孔（2），在M10螺孔（1）中用两端带螺纹的连接杆（9）连接阴极体一（7）和靶垫（8）；靶垫（8）上设有O型密封圈槽（4）；在水冷装置壳体（14）的圆周上对称的焊接两个绝缘壳体连接耳座（6），在绝缘壳体连接耳座（6）上用螺栓装有绝缘垫木装置（16）。
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