[实用新型]真空室壳体有效
| 申请号： | 201520295953.5 | 申请日： | 2015-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN204676147U | 公开（公告）日： | 2015-09-30 |
| 发明（设计）人： | 马尔科·肯内;约亨·克劳瑟;赖因哈德·耶格 | 申请（专利权）人： | 冯·阿登纳有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 刘明海;杨生平 |
| 地址： | 德国德*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 真空室壳体(100)可以包括：带有至少一个基体-转运-缝隙(102a)的室壁(102)，用于运送基体沿着基体运送方向(101)通过真空室壳体(100)；和隔板结构(104)，其这样地设置并相对于基体-转运-缝隙(102a)固定在室壁(102)上，即基体-转运-缝隙(102a)部分地被盖住，从而减小基体-转运-缝隙(102a)的有效缝隙高度。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 壳体 | ||
【主权项】：
一种真空室壳体(100)，其包括：带有至少一个基体‑转运‑缝隙(102a)的室壁(102)，用于基体沿着基体运送方向(101)运送通过真空室壳体(100)；和隔板结构(104)，其这样地设置并相对于基体‑转运‑缝隙(102a)固定在室壁(102)上，即基体‑转运‑缝隙(102a)部分地被盖住，从而减小基体‑转运‑缝隙(102a)的有效缝隙高度。
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