[实用新型]一种靶材提纯冷却循环装置有效
| 申请号： | 201520153504.7 | 申请日： | 2015-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN204490982U | 公开（公告）日： | 2015-07-22 |
| 发明（设计）人： | 张斐;曾墩风;罗文富;罗承钦 | 申请（专利权）人： | 厦门映日新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人： | 方惠春 |
| 地址： | 361000 福建省厦*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种靶材提纯冷却循环装置，其与提纯装置连通并配合使用，该循环装置包括溶液冷却柜，及开设在溶液冷却柜上的冷却液的出口及回流口，所述冷却液的出口及回流口均与管道连通形成冷却液的流出通道及回流通道，该流出通道及回流通道的两端分别与容液冷却柜及前述提纯装置连通，从而形成提纯冷却循环结构。本实用新型采用纯水进行冷却，而且对循环水进行制冷，使得循环水冷却能力大大提高，提高产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提纯 冷却 循环 装置 | ||
【主权项】：
一种靶材提纯冷却循环装置，其与提纯装置连通并配合使用，其特征在于：该循环装置包括容液冷却柜，及开设在容水冷却柜上的冷却液的出口及回流口，所述冷却液的出口及回流口均与管道连通形成冷却液的流出通道及回流通道，该流出通道及回流通道的两端分别与容液冷却柜及前述提纯装置连通，从而形成提纯冷却循环结构。
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