[发明专利]一种光刻机智能控制系统在审
| 申请号： | 201510913120.5 | 申请日： | 2015-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN106873310A | 公开（公告）日： | 2017-06-20 |
| 发明（设计）人： | 田佳聪 | 申请（专利权）人： | 田佳聪 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110001 辽宁省沈阳市和*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明一种光刻机智能控制系统，光刻机智能控制系统由平板工控机、数据采集卡、运动控制板卡等部分构成。所述的平板工控机(主控板卡)的主控芯片采用三星的S3C2440芯片作为微处理器，为主控芯片配置了64M的SDRAM，配置256M的NandFlash来满足对小文件的存储，对大文件存储则需使用SD卡实现，配置8in(1in=2.54cm)的触摸屏来满足显示与操作的需要，触摸屏的分辨力为800×600，采用40针FFC软排线与主控制板卡进行连接。系统外设接口主要包括串口、USB接口、网络模块和音频模块；可实现独立实时地进行图像采集、显示、存储和智能控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 机智 控制系统 | ||
【主权项】：
一种光刻机智能控制系统，其特征在于：由平板工控机、数据采集卡、运动控制板卡等部分构成。
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