[发明专利]硅片传输平台控制系统在审
| 申请号： | 201510685907.0 | 申请日： | 2015-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN106597913A | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | 邓德智;杨奇峰;邹风山;徐方;边弘晔;陈禹希 | 申请（专利权）人： | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/042 | 分类号： | G05B19/042 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司21002 | 代理人： | 许宗富 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种硅片传输平台控制系统，包括主控制器、交换机、串口转换模块、IO采集模块和Devicenet HUB，串口转换模块、IO采集模块和Devicenet HUB通过交换机连接到主控制器；交换机还连接以太网设备。在整个控制系统中使用了串口转换模块、IO采集模块、交换机、DeviceNet HUB的组合。这样的设计极大的减小了整个控制系统的体积，把各类通信功能，通过不同的转换模块整合成同一类的通讯方式，可以解决现有洁净真空传输系统中各类通信协议较多的问题。相对于原有的控制系统而言，在结构上更加清晰、集成度更高，控制调度起来更加简单，大大的提高了系统的简易性和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 传输 平台 控制系统 | ||
【主权项】：
一种硅片传输平台控制系统，其特征在于，包括主控制器、交换机、串口转换模块、IO采集模块和Devicenet HUB，所述串口转换模块、IO采集模块和Devicenet HUB通过交换机连接到所述主控制器；所述交换机还连接以太网设备。
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