[发明专利]一种惰性表面处理技术

摘要

本发明公开了一种惰性表面处理方法，包括(1)工件表面预处理；(2)、工件置入真空反应炉内，密封后抽真空至1Pa或以下；(3)、加入高纯氮气在1/2大气压附近，将工件加热至预定反应温度200℃‑1200℃；(4)、将炉内氮气抽出至炉内1Pa或以下，加入含硅气体，并使炉内最终气压在一个大气压以下；(5)、维持真空炉温度在步骤(3)所述反应温度，反应0.5‑8小时；(6)、停止加温/维温，使工件降温，将炉内参与气体抽出至1Pa或以下；(7)、对要求厚度较高的镀膜，重复步骤(2)‑(6)若干次；(8)、工件温度降至80℃以下后，向炉内注入大致为一个大气压的高纯氮气，再开炉取出工件。

主权项

一种惰性表面处理技术，其特征在于该技术包括以下步骤：(1)工件表面预处理，使呈现工件本身材质的洁净表面；(2)、工件置入真空反应炉内，密封后抽真空至真空度为1Pa或以下；(3)、向真空炉内加入高纯氮气在1/2大气压附近，启动真空炉加热系统，将工件加热至预先设定的反应温度，该预先设定的反应温度为200℃‑1200℃；(4)、开启真空系统将炉内氮气抽出至炉内的真空度至1Pa或以下后，加入主反应气，并使炉内最终气压在一个大气压以下，所述主反应气为含硅气体；(5)、维持真空炉温度在步骤(3)所述反应温度，进行气相沉积反应0.5‑8小时；(6)、停止真空炉加温/维温系统，使工件降温，同时开启真空泵，将炉内残余气体抽出至1Pa或以下；(7)、对要求厚度较高的镀膜，重复步骤(2)‑(6)若干次；(8)、工件温度降至80℃以下后，向炉内注入大致为一个大气压的高纯氮气，再开炉取出工件，步骤(4)与主反应气混合加入有副反应气或在加入主反应气后加入副反应气，该副反应气为能与含硅气体之间产生气相反应的氨气或氢气；步骤(4)中炉内最终气压为100‑300托。